一种低温连接的耐高温封装连接材料及其封装连接工艺的制作方法

文档序号:14009598阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种低温连接的耐高温封装连接材料及其封装连接工艺,属于微电子封装技术领域。连接材料由锡粉末和镍粉末均匀混合组成,锡粉含量原子百分比为36.7~57%,余量为镍粉;锡粉平均粒径5~30μm,镍粉平均粒径5~20μm;混合粉末与有机溶剂搅拌、混合成均匀糊状或膏状。本发明工艺是先将基板超生波振荡清洗,取出后冷风吹干;然后用丝网将连接材料印刷于基板焊接面上,将芯片与连接材料对齐、组装成芯片/连接材料/基板连接结构,固定后放入真空炉或气氛炉中;最后快速升温至300~340℃,并保温1h~5h,保温结束冷却、取出实现连接。本发明工艺可使芯片和基板实现低温、小压力封装,且封装后的接头热稳定性好,耐温能力强。

技术研发人员:马迎春
受保护的技术使用者:马迎春
技术研发日:2017.10.31
技术公布日:2018.03.23
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