技术特征：
技术总结
本发明实施例涉及使用193nm激光器的固态激光器及检验系统。本发明揭示改进的激光器系统及相关联技术，其由接近1064nm的基谐波真空波长产生大约193.368nm的紫外线UV波长。优选实施例分离出至少一级的输入波长的未消耗部分且重新定向所述未消耗部分以在另一级中使用。所述改进的激光器系统及相关联技术导致比当前用于工业中的激光器更便宜、寿命更长的激光器。这些激光器系统可用易于获得、相对便宜的组件构造。
技术研发人员：勇-霍·亚历克斯·庄;J·约瑟夫·阿姆斯特朗;弗拉基米尔·德里宾斯基;约翰·费尔登
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
技术研发日：2013.05.17
技术公布日：2018.04.06