排气系统的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明实施例提供一种排气系统，用于从半导体制造设备排出有害气体，包括：主排气管，具有顶表面及底表面；第一支管，包括上游端及下游端，上游端耦接到混合气体的来源，混合气体包括有害气体，下游端通过顶表面连接到主排气管；第二支管，包括下游端，下游端通过底表面连接到主排气管；以及检测器，配置以检测第二支管中的有害气体的存在。

技术研发人员：林钰富;石世昌;陈家桢
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2017.12.05
技术公布日：2019.03.22