一种抗干扰晶圆测试机外壳的制作方法

文档序号:11449724阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种抗干扰晶圆测试机外壳,包括本体外壳(4)和测试机(8),其特征在于:所述本体外壳(4)的内顶部固定连接于探针台(3)的上端,所述探针台(3)上安装有探针卡(2),所述本体外壳(4)内底部固定连接于支柱(7)的底端,所述支柱(7)固定连接于测试台(6)的下表面,所述测试台(6)的上表面通过负压吸附固定有转接板(5),所述转接板(5)上电性连接有待测晶圆(9),所述探针台(3)通过屏蔽信号线(10)电性连接于测试机(8),所述测试机(8)电性连接有显示模块(1)。

2.根据权利要求1所述的一种抗干扰晶圆测试机外壳,其特征在于:所述测试机(8)内设有稳压电路,所述稳压电路内包括LDO稳压器。

3.根据权利要求1所述的一种抗干扰晶圆测试机外壳,其特征在于:所述测试台(6)的表面设有环形负压吸附槽(601),所述负压吸附槽(601)相互连通,所述支柱(7)内部设有负压通道(701),所述负压通道(701)的顶部固定连接于负压吸附槽(601),所述负压通道(701)的底部通过管道连接于负压泵。

4.根据权利要求1所述的一种抗干扰晶圆测试机外壳,其特征在于:所述转接板(5)的底部固定连接有一层橡胶垫。

5.根据权利要求1所述的一种抗干扰晶圆测试机外壳,其特征在于:所述,所述转接板(5)上包括与待测晶圆(9)上MOS管(901)电性连接的印刷电路,所述印刷电路包括串联和并联电路,所述印刷电路设有测试电路接线端(501)。

6.根据权利要求1所述的一种抗干扰晶圆测试机外壳,其特征在于:所述本体外壳(4)为绝缘材料制成,且本体外壳(4)的内部设有接地金属屏蔽网。

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