一种带有自锁夹持结构的扫描电镜样品台的制作方法

本实用新型涉及一种扫描电镜样品台，尤其是薄板或细丝类试样夹持样品台，属于金属材料扫描电镜检测设备技术领域。

背景技术：

扫描电子显微镜在材料分析中具有非常重要的作用，尤其是对金属材料的研究，可以进行材料表面形貌观察，组织结构检测，以及断口类型分析等。

由于扫描电镜自身结构特征，待观测的试样需要稳稳固定于样品台上，且被观测表面要垂直于电子束的方向。这种观察方式非常适用于块体试样的测试，但对于薄板类试样、细丝类试样等，如果需要观察截面，往往需要对试样进行镶嵌或是粘附于块体试样的四周，通过旋转样品台来试验，这种方式费时费力，对观察结果造成一定程度的影响。而且对于扫描电子显微镜操作人员的技术水平要求高，稍有不慎即可使试样与样品仓内的探头或极靴发生碰撞，造成非常严重的后果。

技术实现要素：

本实用新型目的是提供一种带有自锁夹持结构的扫描电镜样品台，能够对试样进行方便、快捷、有效的检测，解决背景技术中存在的问题。

本实用新型的技术方案是：

一种带有自锁夹持结构的扫描电镜样品台，包含金属片一、金属片二和样品台底座，金属片一包含下段、中段和上段，下段、中段和上段构成一体，成折弯形，所述金属片二的结构和金属片一的结构相同，金属片一和金属片二固定在样品台底座上，金属片一和金属片二相对布置，金属片一的下段和金属片二的下段呈V型布置，构成自锁结构，金属片一的中段和金属片二的中段呈十字交叉型布置，金属片一的上段和金属片二的上段呈八字型布置，构成夹持结构。

所述样品台底座为圆柱体。

所述样品台底座的下方设有凹槽。

所述金属片一和金属片二的宽度小于样品台底座的宽度。

采用本实用新型，使用时，单手挤压金属片一的下段和金属片二的下段构成的V型自锁结构，使金属片一的上段和金属片二的上段构成的八字型夹持结构张开，张开角度要大于待测试样的厚度，将试样置于八字型夹持结构中，慢慢松开手，自动加紧试样。试样加紧后，用洗耳球对试样表面进行吹洗，清除表面浮尘，之后将此样品台置于扫描电镜底座的连接架上，保持样品台稳定，即可抽真空进行扫描电镜观察。

本实用新型的有益效果是：可以为薄板类或细丝类试样提供一种简单的自锁夹持结构，方便此类试样的夹持固定，从而实现方便、快捷、有效的扫描电镜检测。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图一；

图2为本实用新型结构示意图二；

图3为本实用新型样品台底座主视图；

图4为本实用新型样品台底座侧视图；

图5为本实用新型样品台底座俯视图；

图6为本实用新型金属片一示意图；

图中：金属片一1、金属片二2、样品台底座3。

具体实施方式

以下结合附图，通过实例对本实用新型作进一步说明。

参照附图1-6，一种带有自锁夹持结构的扫描电镜样品台，包含金属片一1、金属片二2和样品台底座3，金属片一1包含下段、中段和上段，下段、中段和上段构成一体，成折弯形，所述金属片二2的结构和金属片一1的结构相同，金属片一1和金属片二2固定在样品台底座3上，金属片一1和金属片二2相对布置，金属片一1的下段和金属片二2的下段呈V型布置，构成自锁结构，金属片一1的中段和金属片二2的中段呈十字交叉型布置，金属片一1的上段和金属片二2的上段呈八字型布置，构成夹持结构。

在本实施例中，金属片一1、金属片二2和样品台底座3均为金属材料制成，具有良好的导电性能。

样品台底座3为圆柱体，样品台底座3的直径在10-15mm之间，高度在25-35mm之间，样品台底座3的下方设有凹槽。样品台底座3尺寸与扫描电镜底座的尺寸要吻合，能够实现稳固连接。

金属片一1的下段和金属片二2的下段呈V型布置，构成自锁结构，能够提供自锁夹持力。金属片一1的上段和金属片二2的上段呈八字型布置，构成夹持结构，要求表面平整光滑，无凸起。夹持结构的上表面即为被观测试验的“零表面”位置（扫描电镜工作距离），该夹持结构可观察高度小于20mm以下的无规则薄板类试样或细丝类试样，以及其他不易夹持的试样，试样观察时，只需置于夹持结构中即可，可同时观察单个或多个试样，试样观察完毕后拆卸简单，不造成任何损坏。对于某些表面存在氧化或导电性能不理想的试样，通过导电胶使试样表面与该夹持结构的任何部位相连即可。

薄板类试样的扫描电镜检测过程如下：

将该样品台从扫描电镜底座上拆下，单手挤压金属片一的下段和金属片二的下段构成的V型自锁结构，使金属片一的上段和金属片二的上段构成的八字型夹持结构张开，张开角度要大于待测试样的厚度，将薄板试样置于此夹持结构中，使试样待测表面与该夹持结构的上表面平行。慢慢松开手，使自锁结构自动加紧试样。对于存在表面高低不平的薄板试样，可使试样稍稍高出该夹持结构的上表面，使试样最低点与夹持结构的上表面平行。

加紧试样后，可将此样品台来回轻轻晃动，以确定此薄板试样是否加紧。然后用洗耳球对待测表面进行吹洗，清除表面浮尘，之后将此样品台置于扫描电镜底座的连接架上，保持样品台稳定，即可抽真空进行扫描电镜观察。

细丝类试样的扫描电镜检测过程如下：

将该样品台从扫描电镜底座上拆下，单手挤压金属片一的下段和金属片二的下段构成的V型自锁结构，使金属片一的上段和金属片二的上段构成的八字型夹持结构张开，张开角度要大于待测细丝试样的直径，将试样置于此夹持结构之中，使细丝的长度方向与样品台夹持结构上表面垂直，可保证试样端口垂直于电子束，慢慢松开手，使自锁结构自动加紧试样，对于直径一致的试样，也可选择多个试样一起观察，但要保证被观察试样的上表面高度一致。

加紧试样后，可将此样品台来回轻轻晃动，以确定试样是否加紧。然后用洗耳球对待测表面进行吹洗，清除表面浮尘，之后将此样品台置于扫描电镜底座的连接架上，保持样品台稳定，即可抽真空进行扫描电镜观察。