一种太阳能电池扩散用石英炉管的制作方法

文档序号:14818463发布日期:2018-06-30 06:20阅读:来源:国知局
一种太阳能电池扩散用石英炉管的制作方法

技术特征:

1.一种太阳能电池扩散用石英炉管,包括石英管口,其特征在于:所述石英管口的外截面为圆形,所述石英管口的内截面呈与硅片以及承载所述硅片的石英舟相配合的形状;所述内截面的中点与所述外截面圆形的圆心重合。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池扩散用石英炉管,其特征在于:所述内截面为多边形。

3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池扩散用石英炉管,其特征在于:所述多边形为正多边形。

4.根据权利要求2所述的一种太阳能电池扩散用石英炉管,其特征在于:所述多边形为矩形。

5.根据权利要求4所述的一种太阳能电池扩散用石英炉管,其特征在于:所述矩形的底边平行于水平面设置。

6.根据权利要求4所述的一种太阳能电池扩散用石英炉管,其特征在于:所述矩形为正方形。

7.根据权利要求6所述的一种太阳能电池扩散用石英炉管,其特征在于:所述正方形的底边平行于水平面设置。

8.根据权利要求6所述的一种太阳能电池扩散用石英炉管,其特征在于:所述正方形的边长为200mm。

9.根据权利要求1所述的一种太阳能电池扩散用石英炉管,其特征在于:所述石英炉管的材质为石英。

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