一种质量分析器屏蔽结构的制作方法

文档序号:14152435阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种质量分析器屏蔽结构,屏蔽结构为一个头部具有凸缘且具有中心贯通腔室的金属筒体,屏蔽结构包括相互联结成整体的具有凸缘的头部、中部和尾部;位于头部的凸缘还包括固定孔、走线结构;中部包括大于等于1个的用于定位质量分析器的定位孔,大于等于1个的用于走线的走线孔;尾部通过同定位离子源组件的结构件相联结以使从离子源至质量分析器离子路径具有同轴结构;本实用新型公开的质量分析器屏蔽结构为一两端贯通的金属筒体,整个筒体由头部、中部和尾部组成,质量分析器安装于筒体中心位置,电磁屏蔽效果好,能够安装于不同的真空腔体中,可用于多种质量分析器的电磁屏蔽。

技术研发人员:陈兆超;张坤;周立
受保护的技术使用者:江苏天瑞仪器股份有限公司
文档号码:201721283988
技术研发日:2017.10.01
技术公布日:2018.04.10

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