放电激励激光装置的制作方法

本实用新型涉及激光领域，尤其涉及一种放电激励激光装置。

背景技术：

在放电激励激光装置中，通常进行几千伏以上的高电压的转换和放电。

专利文献1(JP2003-249703A)公开了一种现有的放电激励激光装置，图1是该现有的放电激励激光装置的截面图。如图1所示，该放电激励激光装置具有导电部3a、第1电流导入部3b、第2电流导入部3c以及主放电电极E，另外还具有峰化(peaking)电容器Cp、导电部7、冷去管7a以及薄壁部7b。其中，第1电流导入部3b插入导电部3a的凹部并与第2电流导入部3c电连接，峰化电容器Cp与导电部3a电连接，并且，第1电流导入部3b和峰化电容器Cp向主放电电极E施加高电压，第1电流导入部3b中具有螺栓N3。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现要素：

本实用新型的发明人发现，在上述现有的放电激励激光装置中，由于施加至主放电电极E的电压很高，可能产生不需要的放电，对于上述现有的放电激励激光装置，由于第1电流导入部3b的螺栓N3的端部突出在装置的外部，因此容易从该螺栓N3的端部产生无意识的放电，影响该放电激励激光装置的正常工作。

本实用新型实施例提供一种放电激励激光装置，由于插入第二导电部的贯通孔的螺栓的端部不高于第二导电部的开口的顶部，因此，减少了外露的突起部，降低了产生无意识放电的可能性，能够使得放电电极的主放电稳定，从而能够使激光装置稳定地进行工作。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种放电激励激光装置，所述放电激励激光装置包括：峰化电容器和放电电极；第一导电部，其与所述峰化电容器电连接；第二导电部，其与所述第一导电部电连接，并且所述第二导电部具有开口和贯通孔；以及螺栓，其插入所述第二导电部的所述贯通孔，并且所述螺栓与所述放电电极电连接，其中，所述螺栓的端部不高于所述第二导电部的所述开口的顶部。

根据本实用新型实施例的第二方面，其中，所述螺栓的端部具有六角孔。

根据本实用新型实施例的第三方面，其中，所述第一导电部为板状。

根据本实用新型实施例的第四方面，其中，所述第一导电部和所述峰化电容器通过螺丝固定。

根据本实用新型实施例的第五方面，其中，所述第一导电部和所述第二导电部通过螺丝固定。

根据本实用新型实施例的第六方面，其中，所述第二导电部沿着其长度方向具有多个所述开口和所述贯通孔。

根据本实用新型实施例的第七方面，其中，所述螺栓的数量与所述开口和所述贯通孔的数量相同。

根据本实用新型实施例的第八方面，其中，所述螺栓的端部与所述第二导电部的所述开口的顶部的高度差d满足：0≤d＜3mm。

根据本实用新型实施例的第九方面，其中，所述放电激励激光装置是准分子激光器。

本实用新型的有益效果在于：由于插入第二导电部的贯通孔的螺栓的端部不高于第二导电部的开口的顶部，因此，减少了外露的突起部，降低了产生无意识放电的可能性，能够使得放电电极的主放电稳定，从而能够使激光装置稳定地进行工作。

参照后文的说明和附图，详细公开了本实用新型的特定实施方式，指明了本实用新型的原理可以被采用的方式。应该理解，本实用新型的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本实用新型的实施方式包括许多改变、修改和等同。

针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。

应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。

附图说明

所包括的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本实用新型的实施方式，并与文字描述一起来阐释本实用新型的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是该现有的放电激励激光装置的截面图；

图2是本实用新型实施例1的放电激励激光装置的部分结构的截面图；

图3是本实用新型实施例1的放电激励激光装置的部分结构的示意图；

图4是本实用新型实施例1的第二导电部和螺栓的位置关系的示意图。

具体实施方式

参照附图，通过下面的说明书，本实用新型的前述以及其它特征将变得明显。在说明书和附图中，具体公开了本实用新型的特定实施方式，其表明了其中可以采用本实用新型的原则的部分实施方式，应了解的是，本实用新型不限于所描述的实施方式，相反，本实用新型包括落入所附权利要求的范围内的全部修改、变型以及等同物。

在本实用新型实施例中，术语“第一”、“第二”等用于对不同元素从称谓上进行区分，但并不表示这些元素的空间排列或时间顺序等，这些元素不应被这些术语所限制。术语“和/或”包括相关联列出的术语的一种或多个中的任何一个和所有组合。术语“包含”、“包括”、“具有”等是指所陈述的特征、元素、元件或组件的存在，但并不排除存在或添加一个或多个其他特征、元素、元件或组件。“多个”或“多种”指的是至少两个或至少两种。

实施例1

图2是本实用新型实施例1的放电激励激光装置的部分结构的截面图，图3是本实用新型实施例1的放电激励激光装置的部分结构的示意图，图4是本实用新型实施例1的第二导电部和螺栓的位置关系的示意图。

如图2-4所示，放电激励激光装置200包括：

峰化电容器210和放电电极220；

第一导电部230，其与峰化电容器210电连接；

第二导电部240，其与第一导电部230电连接，并且第二导电部240具有开口241和贯通孔242；以及

螺栓250，其插入第二导电部240的贯通孔242，并且螺栓250与放电电极220电连接，其中，螺栓250的端部251不高于第二导电部240的开口241的顶部2411。

在本实施例中，第二导电部240具有开口241和贯通孔242，开口241和贯通孔242沿着上下方向(Z方向)依次设置，螺栓250的端部251可以容纳在第二导电部240的开口241中，贯通孔242的尺寸可以与螺栓250的尺寸相适应。

在本实施例中，螺栓250的端部251不高于第二导电部240的开口241的顶部2411，即，螺栓250的端部251的顶部相比于开口241的顶部更靠近放电电极220。

这样，由于螺栓250的端部251在上下方向(Z方向)不高于第二导电部240的开口241的顶部2411，减少了外露的突起部，降低了产生无意识放电的可能性，能够使得放电电极220的主放电稳定，从而能够使激光装置稳定地进行工作。

在本实施例中，该电激励激光装置200还可以具有其他现有结构，例如，如图2所示，该电激励激光装置200还可以具有第三导电部260、第四导电部270、激光腔280以及绝缘基座290。

如图2和图3所示，多个峰化电容器210对称设置在第一导电部230的两侧，第三导电部260与峰化电容器210电连接，第四导电部270嵌入在绝缘基座290中，第二导电部240与第四导电部270电连接，螺丝250插入第二导电部240的贯通孔242，并插入第四导电部270和放电电极220，从而将这些部件固定在一起。

在本实施例中，螺栓250可以是各种类型的螺栓，例如，螺栓250的端部251可以具有六角孔。

如图2和图3所示，第一导电部230的形状可以与第二导电部240的侧面相适应，例如，第一导电部230为板状，其与在第二导电部240的一个侧面相连接，第一导电部230与峰化电容器210相连接。

在本实施例中，第一导电部230和峰化电容器210可以通过螺丝固定，第一导电部230和第二导电部240也可以通过螺丝固定。

在本实施例中，如图2和图3所示，第二导电部240沿着其长度方向(Y方向)可以具有多个开口241和贯通孔242，螺栓250的数量可以与开口241和贯通孔242的数量相同。

在本实施例中，开口241、贯通孔242和螺栓250的具体数量可以根据实际需要而确定。

如图4所示，螺栓250的端部251不高于第二导电部240的开口241的顶部2411，螺栓250的端部251和第二导电部240的开口241的顶部2411之间可以具有高度差d。

在本实施例中，螺栓250的端部251与第二导电部240的开口241的顶部2411的高度差d可以根据实际需要而设置，例如，该高度差d满足以下条件：0≤d＜3mm。

在本实施例中，该放电激励激光装置可以是各种类型的气体激光器，例如，该放电激励激光装置的激励气体是准分子气体，即，该放电激励激光装置是准分子激光器。

由上述实施例可知，由于插入第二导电部的贯通孔的螺栓的端部不高于第二导电部的开口的顶部，因此，减少了外露的突起部，降低了产生无意识放电的可能性，能够使得放电电极的主放电稳定，从而能够使激光装置稳定地进行工作。

以上结合具体的实施方式对本实用新型进行了描述，但本领域技术人员应该清楚，这些描述都是示例性的，并不是对本实用新型保护范围的限制。本领域技术人员可以根据本实用新型的精神和原理对本实用新型做出各种变型和修改，这些变型和修改也在本实用新型的范围内。