技术总结
本实用新型提供一种电晕预电离电极、激光振荡器和准分子激光装置。该电晕预电离电极包括：电介质管，预电离外电极和背面电极；所述电晕预电离电极还包括：固定管，其覆盖所述背面电极的一部分；其中，所述背面电极的在电介质管的预电离外电极存在的部分处的外径形成为比所述固定管的内径大。由此，能够充分获得背面电极与周围的金属部件之间的绝缘距离，并且能够实现必要的预电离强度；从而即使在被施加了高电压的背面电极尤其是电介质管的端部处，也能杜绝或抑制因附近的金属部件和背面电极而产生的异常放电。
技术研发人员：西坂敏博;
受保护的技术使用者：极光先进雷射株式会社;
技术研发日：2017.11.16
技术公布日：2018.06.26