一种基于砷化镓的集成晶体管及具有该晶体管的汽车的制作方法

文档序号:14818575发布日期:2018-06-30 06:21阅读:来源:国知局
一种基于砷化镓的集成晶体管及具有该晶体管的汽车的制作方法

技术特征:

1.一种基于砷化镓的集成晶体管,其特征在于:包括砷化镓基板,砷化镓基板上设置有第一DBR层,第一DBR层上设置有N型砷化镓渐变层,N型砷化镓渐变层上设置有N型磷化铝镓铟层或者砷化镓铟层,N型磷化铝镓铟层或者砷化镓铟层上设置有第二DBR层,第二DBR层上的一侧设置有P型磷化镓层,第二DBR层上的另一侧设置有VCSEL结构金属触点,P型磷化镓层上的一侧设置有LED结构金属触点,P型磷化镓层上的另一侧设置有N型砷化镓集电极衬底层,N型砷化镓集电极衬底层上设置有N型砷化镓集电极层,N型砷化镓集电极层上设置有P型砷化镓基极层,P型砷化镓基极层上设置有N型磷化镓铟发射极层,N型磷化镓铟发射极层上设置有N型砷化镓铟接触层,HBT结构金属触点分别设置在N型砷化镓集电极衬底层、P型砷化镓基极层、N型砷化镓铟接触层上,砷化镓基板底面正对着LED结构金属触点和VCSEL结构金属触点处分别设置有金属触点,P型磷化镓层与VCSEL结构金属触点之间、N型砷化镓集电极衬底层与LED结构金属触点之间分别设置有底部在砷化镓基板的凹槽。

2.根据权利要求1所述的一种基于砷化镓的集成晶体管,其特征在于:

所述LED结构金属触点设置在VCSEL结构金属触点与HBT结构金属触点之间。

3.一种汽车,其特征在于:包括有控制电路板,所述控制电路板上设置有晶体管,所述晶体管为权利要求1-2任意一项所述的基于砷化镓的集成晶体管。

4.根据权利要求3所述的一种汽车,其特征在于:所述汽车为无人驾驶汽车。

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