一种硅片自动插片机的吸片输送机构的制作方法

本实用新型涉及硅片自动插片机技术领域，特别涉及一种硅片自动插片机的吸片输送机构。

背景技术：

硅片自动插片机是一种机械设备。该设备解决了硅片在清洗前手工装清洗篮的问题，完全实现了自动分料，自动上料，自动入篮，自动换篮，料满报警等动作，使用该设备后，可以实现硅片插片的基本去手工化工作，除去上下物料外，无需手工再逐片操作，而吸片输送机构则是硅片自动插片机中的一个主要组成机构，在硅片自动插片机中拥有不可替代的重要性，但是现有的吸片输送机构在实际使用时还有一些缺点，如无法有效检测并去除不合格硅片以及在硅片进入硅片花篮前对硅片进行调整等。

因此，发明一种硅片自动插片机的吸片输送机构来解决上述问题很有必要。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种硅片自动插片机的吸片输送机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片自动插片机的吸片输送机构，包括床体，所述床体端部固定设有吸板，所述吸板两侧设有多个输送轮，多个所述输送轮外侧均设有弹性层，所述吸板顶部设有固定块，所述固定块顶端设有气源管，所述吸板内部设有吸附腔以及一侧设有排水腔，所述排水腔顶部设有排水管，所述排水管连接端设有清洗槽连接管，所述清洗槽连接管上设有增压泵与净水器，所述净水器设于增压泵一侧，所述吸板一侧设有第一传送轮组，所述第一传送轮组顶部设有辅助传送轮，所述第一传送轮组顶部设有测量板，所述测量板底部两端均设有红外测距仪，所述第一传送轮组一侧设有固定杆，所述固定杆两端均设有旋转轮，所述固定杆之间设有连接杆，所述连接杆上贯穿设有传动杆，所述连接杆底部设有承载箱，所述连接杆一侧设有第二传送辊组，所述第二传送辊组顶部设有限位板，所述限位板内侧设有保护层，所述床体顶部一端设有单片机。

优选的，所述吸附腔包括上腔体与下腔体，所述下腔体设于上腔体底部，所述上腔体与下腔体之间设有连接通道。

优选的，所述气源管连接端设有真空泵，所述清洗槽连接管连接端设有硅片清洗槽，所述传动杆端部设有伺服电机。

优选的，所述吸板端部的输送轮通过皮带与辅助传送轮传动连接，所述旋转轮通过转轴与固定杆活动连接。

优选的，所述红外测距仪型号设置为SW-E60，所述单片机型号设置为M68HC16，所述弹性层与保护层均由橡胶材料制成，所述限位板倾斜设置。

优选的，所述红外测距仪和伺服电机均与单片机电性连接。

本实用新型的技术效果和优点：1：清洗结束后的硅片由第一传送轮组上经过测量板底部，测量板底部的红外测距仪对硅片的厚度以及宽度进行测量并向单片机发送信号，当硅片的厚度高于或低于设定范围以及硅片的宽度高于或低于设定范围时，单片机控制伺服电机通电并通过传动杆带动连接杆转动，从而使一个固定杆抬起以及另一个固定杆落下，使得不合格的硅片由第一传送轮组上落入到承载箱中，然后单片机控制传动杆复位，红外测距仪继续监测下一个硅片，当硅片合格时，硅片由旋转轮上输送到第二传送辊组上，第二传送辊组顶部的限位板可以逐渐调整硅片的位置，从而使硅片可以更好的进入到硅片花篮中，避免硅片和硅片花篮发生碰撞导致硅片花篮边角破损的情况发生，有效避免不必要的经济损失，保证了硅片的合格率；2：硅片传送时产生的水由排水管进入到清洗槽连接管中被净水器净化后再次排入清洗槽中，从而使得清洗槽中水的清洁度保持在恒定值，避免多次换水，节约水资源的同时有效节省了人工，保证了清洗质量，提高了清洗效率，具有较高的实用性；3：气源管连接端设有的真空泵通过吸附腔对清洗槽中的硅片产生吸力并将硅片吸附在输送轮上，吸附腔中的上腔体、下腔体和连接通道可以有效将真空泵产生的吸力进行分散，从而防止因局部吸力过大导致硅片破损的情况发生，保证硅片质量，降低硅片不合格率，避免不必要的经济损失。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的图1中A部分结构示意图。

图3为本实用新型的测量板仰视结构示意图。

图4为本实用新型的限位板俯视结构示意图。

图5为本实用新型的吸附腔结构示意图。

图中：1床体、2吸板、3输送轮、4弹性层、5固定块、6气源管、7吸附腔、8排水腔、9排水管、10清洗槽连接管、11增压泵、12净水器、13第一传送轮组、14辅助传送轮、15测量板、16红外测距仪、17固定杆、18旋转轮、19连接杆、20传动杆、21承载箱、22第二传送辊组、23限位板、24保护层、25上腔体、26下腔体、27连接通道、28单片机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-5所示的一种硅片自动插片机的吸片输送机构，包括床体1，所述床体1端部固定设有吸板2，所述吸板2两侧设有多个输送轮3，多个所述输送轮3外侧均设有弹性层4，所述吸板2顶部设有固定块5，所述固定块5顶端设有气源管6，所述吸板2内部设有吸附腔7以及一侧设有排水腔8，所述排水腔8顶部设有排水管9，所述排水管9连接端设有清洗槽连接管10，所述清洗槽连接管10上设有增压泵11与净水器12，所述净水器12设于增压泵11一侧，所述吸板2一侧设有第一传送轮组13，所述第一传送轮组13顶部设有辅助传送轮14，所述第一传送轮组13顶部设有测量板15，所述测量板15底部两端均设有红外测距仪16，所述第一传送轮组13一侧设有固定杆17，所述固定杆17两端均设有旋转轮18，所述固定杆17之间设有连接杆19，所述连接杆19上贯穿设有传动杆20，所述连接杆19底部设有承载箱21，所述连接杆19一侧设有第二传送辊组22，所述第二传送辊组22顶部设有限位板23，所述限位板23内侧设有保护层24，所述床体1顶部一端设有单片机28。

所述吸附腔7包括上腔体25与下腔体26，所述下腔体26设于上腔体25底部，所述上腔体25与下腔体26之间设有连接通道27，从而有效将真空泵产生的吸力进行分散，从而防止因局部吸力过大导致硅片破损的情况发生，保证硅片质量，降低硅片不合格率，避免不必要的经济损失，所述气源管6连接端设有真空泵，所述清洗槽连接管10连接端设有硅片清洗槽，所述传动杆20端部设有伺服电机，所述吸板2端部的输送轮3通过皮带与辅助传送轮14传动连接，所述旋转轮18通过转轴与固定杆17活动连接，所述红外测距仪16型号设置为SW-E60，所述单片机28型号设置为M68HC16，所述弹性层4与保护层24均由橡胶材料制成，以便于保护硅片，避免硅片在传输过程中受损，所述限位板23倾斜设置，以便于逐渐调整硅片的位置，从而使硅片可以更好的进入到硅片花篮中，避免硅片和硅片花篮发生碰撞导致硅片花篮边角破损的情况发生，有效避免不必要的经济损失，保证了硅片的合格率，所述红外测距仪16和伺服电机均与单片机28电性连接。

本实用新型工作原理：工作时，气源管6连接端设有的真空泵通过吸附腔7对清洗槽中的硅片产生吸力并将硅片吸附在输送轮3上，吸附腔7中的上腔体25、下腔体26和连接通道27可以有效将真空泵产生的吸力进行分散，从而防止因局部吸力过大导致硅片破损的情况发生，保证硅片质量，降低硅片不合格率，避免不必要的经济损失，旋转中的输送轮3带动硅片进入第一传送轮组13与辅助传送轮14之间，硅片传送时产生的水由排水管9进入到清洗槽连接管10中被净水器12净化后再次排入清洗槽中，从而使得清洗槽中水的清洁度保持在恒定值，避免多次换水，节约水资源的同时有效节省了人工，保证了清洗质量，提高了清洗效率，具有较高的实用性，清洗结束后的硅片由第一传送轮组13上经过测量板15底部，测量板15底部的红外测距仪16对硅片的厚度以及宽度进行测量并向单片机28发送信号，当硅片的厚度高于或低于设定范围以及硅片的宽度高于或低于设定范围时，单片机28控制伺服电机通电并通过传动杆20带动连接杆19转动，从而使一个固定杆17抬起以及另一个固定杆17落下，使得不合格的硅片由第一传送轮组13上落入到承载箱21中，然后单片机28控制传动杆20复位，红外测距仪16继续监测下一个硅片，当硅片合格时，硅片由旋转轮18上输送到第二传送辊组22上，第二传送辊组22顶部的限位板23可以逐渐调整硅片的位置，从而使硅片可以更好的进入到硅片花篮中，避免硅片和硅片花篮发生碰撞导致硅片花篮边角破损的情况发生，有效避免不必要的经济损失，保证了硅片的合格率。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。