喷淋式保湿自走机器人的制作方法

技术总结
本实用新型揭示了一种喷淋式保湿自走机器人，包括小车本体、水槽、机械手臂和喷淋装置，水槽位于小车本体上，用于放置基底片，机械手臂位于小车本体上，用于搬运基底片，喷淋装置包括喷嘴，用于对基底片进行喷淋，有效防止晶圆片在运输过程中，晶圆片上的残留粉末干燥硬化，而降低成品率。

技术研发人员：吴功;张庆
受保护的技术使用者：上海大族富创得科技有限公司
技术研发日：2017.12.08
技术公布日：2018.06.29