技术特征：
技术总结
一种本发明揭示一种用于执行电子显微术的电子光学系统。所述系统包含电子束源，所述电子束源经配置以产生初级电子束。所述系统包含源透镜、聚光透镜及物镜，其沿着光轴安置。所述系统包含：第一维恩滤波器，其沿着所述光轴安置；及第二维恩滤波器，其沿着所述光轴安置。所述第一维恩滤波器及所述第二维恩滤波器安置于所述源透镜及所述物镜之间。所述第一维恩滤波器经配置以校正所述初级束中的色像差。所述系统还包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测源自样品的表面的电子。
技术研发人员：姜辛容;C·西尔斯
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
技术研发日：2017.12.06
技术公布日：2019.07.19