光半导体元件的制作方法

文档序号:19079766发布日期:2019-11-08 22:09阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
半导体激光器(2)具有n型半导体衬底(1)和在n型半导体衬底(1)之上依次层叠的n型包覆层(4)、有源层(5)以及p型包覆层(6)。光波导(3)具有芯层(9)和包覆层(10),该芯层(9)位于n型半导体衬底(1)之上且设置于半导体激光器(2)的光输出侧,没有掺杂杂质,与有源层(5)相比禁带宽度大,该包覆层(10)设置于芯层(9)之上,与p型包覆层(6)相比载流子浓度低。半导体激光器(2)具有载流子注入区域(X1)以及在载流子注入区域(X1)和光波导(3)之间设置的非载流子注入区域(X2)。

技术研发人员:境野刚;中村直干;奥贯雄一郎
受保护的技术使用者:三菱电机株式会社
技术研发日:2017.03.23
技术公布日:2019.11.08
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