1.一种激光照射装置,其特征在于,包括:
一激光照射单元,用于在基片上施加激光;
一基部;以及
一传送台,用于传送所述基片,
其中,所述传送台包括:
一载台,构造为可在所述基部上方移动;
一底部法兰,固定在所述载台上;
一基片台,固定于所述底部法兰的上端且构造为将所述基片置于所述基片台上;以及
一推顶销,用于支撑所述基片,所述推顶销构造为穿过所述基片台,且可上下移动。
2.根据权利要求1所述的激光照射装置,其特征在于,所述底部法兰的所述上端与所述基片台通过螺栓彼此连接。
3.根据权利要求1或2所述的激光照射装置,其特征在于,所述传送台包括:
设于所述基片台外侧的推顶臂,所述推顶臂构造为可上下移动;以及
用于支撑所述基片的多个推顶片,所述多个推顶片与所述推顶臂连接,且设于所述基片台的外周。
4.根据权利要求3所述的激光照射装置,其特征在于,所述基片台的顶面形成多个凹槽,每一凹槽均与所述多个推顶片中的一个推顶片相对应。
5.根据权利要求3或4所述的激光照射装置,其特征在于,
所述基片的平面形状为四边形,
所述推顶片设置为与所述基片的第一边或与所述第一边相对的第二边相交。
6.根据权利要求5所述的激光照射装置,其特征在于,所述推顶片设置为与所述基片的所述第一边或所述第二边垂直。
7.根据权利要求5所述的激光照射装置,其特征在于,所述推顶片设置为以40°~50°的角度与所述基片的所述第一边或所述第二边相交。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的激光照射装置,其特征在于,
所述推顶销包括基部以及相对于所述基部设于所述推顶销前端一侧的树脂部分,
所述树脂部分相对于所述基部可装卸。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的激光照射装置,其特征在于,
所述传送台包括连接至所述基片台底面的电机,
所述推顶销在所述电机的驱动力的作用下可上下移动。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的激光照射装置,其特征在于,
所述基片内形成有非晶半导体,
通过由所述激光照射装置在所述基片上施加激光以形成多晶半导体。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的激光照射装置,其特征在于,所述载台为xy载台。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的激光照射装置,其特征在于,所述底部法兰为使所述基片台绕竖直延伸的一旋转轴线旋转的旋转驱动装置。
13.一种激光照射装置,其特征在于,包括:
一激光照射单元,用于在基片上施加激光;
一基部;以及
一传送台,用于传送所述基片,
其中,所述传送台包括:
一载台,构造为可在所述基部上方移动;
一底部法兰,固定在所述载台上;
一基片台,固定于所述底部法兰的上端,且构造为供所述基片置于所述基片台上;
一推顶销,用于支撑所述基片,所述推顶销构造为穿过所述基片台;
一推顶片,用于支撑所述基片,所述推顶片设于所述基片台的外周;以及
一电机,连接至所述基片台的底面,其中,
所述底部法兰为使所述基片台绕竖直延伸的一旋转轴线旋转的旋转驱动装置,
所述推顶销和所述推顶片在所述电机的驱动力作用下可上下移动。