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双色单光子源结构的制备方法及制备的结构与流程
文档序号:15098381
发布日期:2018-08-04 15:08
阅读:
来源:国知局
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双色单光子源结构的制备方法及制备的结构与流程
技术总结
本发明提供了一种双色单光子源结构的制备方法,包括有以下步骤:S1.在半导体衬底上生长并制备纳米线单量子点结构;S2.对纳米线单量子点结构进行部分平整化,露出纳米线顶端的应力小岛;S3.使用机械剥离法制作二维薄膜,并将二维薄膜转移至应力小岛上,完成制备。
技术研发人员:
喻颖;李彦;吴泽儒;陈晓添;余思远
受保护的技术使用者:
中山大学
技术研发日:
2018.01.03
技术公布日:
2018.08.03
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