一种新型弧形VCSEL发光阵列、制作方法、控制系统和控制方法与流程

文档序号:15355570发布日期:2018-09-04 23:52阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种新型弧形VCSEL发光阵列、制作方法、控制系统和控制方法,该方法包括:采用激光束对曲面弧形基底上的所述VCSEL阵列单元表面上的电极层进行逐点扫描加工;还涉及一种系统,该系统包括:新型弧形VCSEL发光阵列、微透镜阵列、逻辑控制电路。还涉及一种控制方法,该方法包括:逻辑控制电路根据接收到的发光指令控制新型VCSEL发光阵列中发光单元的发光顺序;根据发光顺序,分别设置每个微反射镜不同的反射角度,以使新型弧形VCSEL发光阵列中每个发射单元发出的光与水平面垂直的方向上呈预设角度的发射角。通过本发明的新型弧形VCSEL发光阵列,可以实现指定发光单元的发光时间各自独立可控,大大提高了VCSEL阵列单元的使用效率。

技术研发人员:刘晓萌;杨涛;王彦丁
受保护的技术使用者:中国计量科学研究院
技术研发日:2018.02.06
技术公布日:2018.09.04
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