一种硅片测试台的制作方法

文档序号:18834198发布日期:2019-10-09 04:33阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种硅片测试台,所述硅片测试台包括工作台、校准器及传送器;所述传送器用于拾取待检测硅片并将拾取到的待检测硅片传送至所述工作台上,所述校准器用于对所述工作台上待检测硅片的角度进行调整,所述工作台用于检测待检测硅片的少子寿命;所述工作台包括台体、升降杆和固定框,所述升降杆和固定框安装在所述台体上,所述升降杆的位置在所述固定框内,所述升降杆相对于所述台体和所述固定框上下移动。所述工作台上的固定框用于固定检测中的硅片,避免所述硅片在检测过程中滑移导致所述硅片表面损伤,有效的避免了所述硅片的少子寿命降低,所述升降杆用于升降所述硅片,便于放置和取出所述硅片。

技术研发人员:赵向阳
受保护的技术使用者:上海新昇半导体科技有限公司
技术研发日:2018.03.23
技术公布日:2019.10.01
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