一种发光二极管芯片及其制备方法与流程

文档序号:15452378发布日期:2018-09-15 00:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种发光二极管芯片,所述发光二极管芯片包括衬底、缓冲层、N型半导体层、多量子阱层、P型半导体层、钝化层、P型电极和N型电极;所述缓冲层、所述N型半导体层、所述多量子阱层和所述P型半导体层依次层叠在所述衬底上,所述P型半导体层上设有延伸至所述N型半导体层的凹槽,所述N型电极设置在所述凹槽内的N型半导体层上,所述P型电极设置在所述P型半导体层上,所述钝化层设置在所述P型半导体层上除所述P型电极的设置区域之外的区域上、以及所述凹槽内除所述N型电极的设置区域之外的区域上;

其特征在于,所述钝化层的组成物质包括碳单质和硅单质,所述碳单质包括金刚石和石墨,所述碳单质的原子个数占所述钝化层的原子个数的90%以上。

2.根据权利要求1所述的发光二极管芯片,其特征在于,所述金刚石的原子个数为所述碳单质的原子个数的40%~70%。

3.根据权利要求2所述的发光二极管芯片,其特征在于,所述硅单质的原子个数占所述钝化层的原子个数的5%~10%。

4.根据权利要求1~3任一项所述的发光二极管芯片,其特征在于,所述钝化层的厚度为50μm~500μm。

5.根据权利要求1~3任一项所述的发光二极管芯片,其特征在于,所述发光二极管芯片还包括散热基座,所述钝化层通过胶体固定在所述散热基座上。

6.一种发光二极管芯片的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:

在衬底上依次层叠缓冲层、N型半导体层、多量子阱层和P型半导体层;

在所述P型半导体层上开设延伸至所述N型半导体层的凹槽;

在所述凹槽内的N型半导体层上设置N型电极,在所述P型半导体层上设置P型电极;

采用脉冲激光沉积技术在所述P型半导体层上除所述P型电极的设置区域之外的区域上、以及所述凹槽内除所述N型电极的设置区域之外的区域上形成钝化层,所述钝化层的组成物质包括碳单质和硅单质,所述碳单质包括金刚石和石墨,所述碳单质的原子个数占所述钝化层的原子个数的90%以上。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述采用脉冲激光沉积技术在所述P型半导体层上除所述P型电极的设置区域之外的区域上、以及所述凹槽内除所述N型电极的设置区域之外的区域上形成钝化层,包括:

提供一设有石墨靶的真空室;

将所述衬底放入所述真空室内,对所述真空室进行抽真空;

向所述真空室内通入氢气,控制真空室内的温度为200℃~600℃,压力为10Pa~150Pa;

采用激光对所述石墨靶进行溅射,在所述P型半导体层上除所述P型电极的设置区域之外的区域上、以及所述凹槽内除所述N型电极的设置区域之外的区域上形成钝化层。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述石墨靶中掺有硅单质,所述硅单质的原子个数占所述石墨靶的原子个数的5%~10%。

9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:

当向所述真空室内通入氢气时,以10sccm~200sccm的流量向所述真空室内通入含硅元素的气体。

10.根据权利要求7~9任一项所述的制备方法,其特征在于,所述石墨靶与所述衬底之间的距离为4.5cm~6.5cm。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1