技术特征：
技术总结
本发明涉及一种基板处理系统及基板搬送方法。根据本发明的一实施例的基板处理系统可以包括：第一腔室，同时搬入或搬出至少两个基板；基板对齐单元，布置于所述第一腔室内，使所述至少两个基板以预定的间隔隔开的方式对齐；多个第二腔室，处理在所述第一腔室得到对齐的所述至少两个基板；以及基板搬送单元，将对齐的所述至少两个基板从所述第一腔室搬送至所述第二腔室，或从所述第二腔室搬送至所述第一腔室。
技术研发人员：张志皇
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2018.04.13
技术公布日：2018.11.02