技术特征：
技术总结
本发明提供扩展方法和扩展装置，能够可靠地维持芯片间隔。该扩展方法具有如下步骤：环状框架保持步骤，利用保持构件对环状框架进行保持；扩展步骤，在保持环状框架的状态下对扩展片进行扩展；吸引保持步骤，在对扩展片进行了扩展的状态下，利用保持工作台隔着扩展片对晶片进行吸引保持；以及按压解除步骤，在实施了吸引保持步骤之后，解除顶起部的按压，由于在保持工作台的外周侧形成有防止扩展片收缩的微小突起部，因此在实施按压解除步骤时，不必担心扩展片收缩而导致从吸引保持面泄漏吸引力，从而能够可靠地维持相邻的芯片的间隔。
技术研发人员：赵金艳;淀良彰
受保护的技术使用者：株式会社迪思科
技术研发日：2018.05.31
技术公布日：2018.12.11