技术特征：
技术总结
本发明公开一种校正晶圆盘的校准系统，包括上端支撑盘，设置于上端支撑盘上、用于获取待校正晶圆盘位置信息的传感器，用于固定待校正晶圆盘的校准平台，用于调整待校正晶圆盘位置的滑动支撑平台，且校准平台位于滑动支撑平台的滑槽内。本发明所提供的校准系统通过将待校准晶圆盘顶起离开校准平台，通过电机带动滑动支撑平台移动待校准晶圆盘，直到传感器接收不到反馈信号为止，实现检测并调整晶圆盘与校准平台之间误差的功能，与现有技术当中通过手移动待校准晶圆盘的方式相比，避免了出现静电的情况，自动化程度高，有效地提高校准精度。
技术研发人员：贺云波;叶文涛;陈新;高健;杨志军;陈桪;崔成强;张凯;陈云;汤晖;张昌;何作雄
受保护的技术使用者：广东工业大学
技术研发日：2018.06.06
技术公布日：2018.09.28