技术特征：
技术总结
本发明涉及一种漏电测试方法，包括：提供一测试样品，所述待测试样品包括绝缘层，所述绝缘层内形成有漏电测试结构，所述漏电测试结构包括：第一梳状金属线、第二梳状金属线，所述第一梳状金属线包括多个平行排列的第一梳齿金属线，所述第二梳状金属线包括多个平行排列的第二梳齿金属线，所述第一梳齿金属线与所述第二梳齿金属线相互间隔平行排列；刻蚀所述测试样品，在所述测试样品内形成一凹槽，所述凹槽的一侧侧壁至少暴露出所述多个第一梳齿金属线的端部；通过观察所述凹槽的侧壁暴露出的所述多个第一梳齿金属线端部的电压对比度，定位失效位置。上述方法能够在不破坏测试样品表面的情况下定位失效位置。
技术研发人员：费腾;李桂花;蔚倩倩;杜晓琼;仝金雨
受保护的技术使用者：长江存储科技有限责任公司
技术研发日：2018.06.22
技术公布日：2018.11.16