技术特征:
技术总结
本发明公开一种电离源及包括该电离源的二次离子质谱仪。上述电离源可以包括:喷嘴电极,供应有气体;线状电极,布置在所述喷嘴电极之间,释放将所述喷嘴电极内的所述气体离子化的电子;接地电极,布置在所述喷嘴电极外部;以及,提取电极,布置在所述接地电极和所述喷嘴电极之间,将离子化的所述气体沿着所述接地电极的方向提取,所述提取电极包括:提取环,与所述喷嘴电极平行;以及,提取尾,连接于所述提取环内,从所述提取环朝着所述喷嘴电极的方向延伸。
技术研发人员:崔明哲;李相珠;崔彰玟;朴恩智;金廷桓;白知映
受保护的技术使用者:韩国基础科学支持研究院
技术研发日:2018.07.13
技术公布日:2019.01.22