技术特征：
技术总结
本发明公开了一种封装设备及其晶圆蓝膜的张紧和调节装置，基座上设有抵接件和导向件，至少两个导向件围设形成导向区域并配合形成第一导向部，且抵接件设置于导向区域内；转动体套设于抵接件上并与第一导向部导向配合；驱动机构用于使转动体能够绕抵接件的轴线转动；放料平台能够相对抵接件绕抵接件的轴线转动，放料平台还能够相对抵接件沿抵接件的长度方向往复运动。该晶圆蓝膜的张紧和调节装置，能够对放置于其上的晶圆蓝膜和晶圆进行位置偏差的调整与消除，保证了后续的生产工序能够准确的进行；从而使得采用该张紧和调节装置的封装设备，能够对晶圆蓝膜和晶圆进行位置偏差的调整与消除，各个生产工序能够准确的进行，保证了产品的生产质量。
技术研发人员：贺云波;刘青山;王波;刘凤玲;陈桪
受保护的技术使用者：广东阿达智能装备有限公司
技术研发日：2018.07.27
技术公布日：2018.12.21