技术特征：
技术总结
本发明提供辉光放电系统、其离子引出构造及辉光放电质谱装置。提供一种不大幅地改变以往的辉光放电系统的装置结构、驱动条件，就使所引出的离子束流强增大，并且分析精度更高的辉光放电质谱装置。利用第1板(26)和第2板(28)形成提取板(25)，上述第1板(26)配置在放电区域(27)侧，并在开口部(25a)具有朝向放电区域(27)突出的突出部(26a)，上述第2板(28)在外周缘处连接于该第1板(26)，并且在开口部(25a)侧与该第1板(26)隔着间隙配置，上述提取板(25)配置于放电单元(20)的离子引出口，作为引出电极发挥作用。
技术研发人员：高桥孝广
受保护的技术使用者：辉光科技有限公司
技术研发日：2018.08.21
技术公布日：2019.01.11