技术特征:
技术总结
本发明涉及光电材料技术领域,尤其涉及一种银掺杂铜锌锡硫薄膜的制备方法。本发明公开了一种银掺杂铜锌锡硫薄膜的制备方法,包括以下步骤:步骤1:衬底上依次循环真空溅射锌、锡和铜银合金,得到前驱体;步骤2:将所述前驱体进行硫化,得到银掺杂铜锌锡硫薄膜。本发明解决了现有的制备方法得到的银掺杂铜锌锡硫薄膜致密性和银掺杂效率较低且工艺重复性差的技术问题。
技术研发人员:许佳雄;黄晓梦;林俊辉;邱磊;庄楚楠
受保护的技术使用者:广东工业大学
技术研发日:2018.08.31
技术公布日:2019.01.04