技术特征:
技术总结
本发明公开了一种具有隧道结的氮化镓基发光二极管外延制备方法,包括如下步骤:步骤S1、在一衬底上,生长氮化镓基的缓冲层、第一n型半导体层、有源层和p型半导体层;步骤S2、对所述p型半导体层进行活化;步骤S3、对所述活化后的p型半导体层进行表面处理,去除表面污染物;步骤S4、在所述表面处理后的p型半导体层上,生长氮化镓基的第二n型半导体层。本发明的优点在于:采用二次外延的方法实现p++/n++重掺杂的隧道结,避免了MOCVD一次外延生长中存在的Mg记忆效应的问题,可以得到界面掺杂浓度陡峭的隧道结;在二次外延生长第二n型半导体层之前,对p型半导体层高温退火进行活化,避免p型半导体层被第二n型半导体层覆盖后难以活化的问题。
技术研发人员:顾伟
受保护的技术使用者:江西兆驰半导体有限公司
技术研发日:2018.11.21
技术公布日:2019.04.12