柔性显示面板及其制作方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板及其制作方法。

背景技术：

有机发光二极管(organiclightemittingdiode，oled)显示器具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽、可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。

oled显示技术与传统的液晶显示技术不同，无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板，当有电流通过时，这些有机材料就会发光。但是由于有机材料易与水汽或氧气反应，作为基于有机材料的显示设备，oled显示屏对封装的要求非常高，因此，通过oled器件的封装提高oled器件内部的密封性，尽可能的与外部环境隔离，对于oled器件的稳定发光至关重要。

对于oled器件来说，最具竞争力的优势是能做成柔性器件，这将给器件相关的电子行业带来巨大的改革变化。为了得到柔性oled器件，首先需要利用柔性基底取代传统的刚性玻璃基底，但从实际操作性考虑，目前行业内首先选择将柔性基底做在刚性玻璃基板表面，待完成所有工艺制程后，再通过激光剥离(laserliftoff，llo)制程将柔性基底从玻璃基板表面剥离，从而实现制备柔性oled器件的目的。通过上述描述可以发现，llo工艺是柔性oled器件生产中的关键工艺，如何有效地提升该工艺的良率极为关键。

柔性oled显示器是采用柔性基板(flexiblesubstrate)制成的可弯曲显示设备，通常采用柔性聚酰亚胺(polyimide，pi)基板。oled显示面板在玻璃基板上完成阵列(array)及发光层(emissionlayer)制程后，开始进入llo工段，其具体原理是通过激光照射底部玻璃基板，让与玻璃基板与柔性pi基板之间的范德华力反生断裂，弱化玻璃与柔性pi基板之间的作用力，从而到达将柔性oled显示面板从玻璃基板上剥离下来的目的。

llo制程的原理是：利用308nm激光对玻璃表面进行照射，该能量使得glass与pi层之间的范德华力反生断裂，从而失去粘性，进而实现glass与pi之间的分离。该方法的不足之处在于：由于pi对308nm波长的光几乎无吸收，激光能量将直接穿透缓冲层，传导至薄膜晶体管(thinfilmtransistor，tft)结构，对其造成灼伤，影响器件的显示效果。

为了解决以上问题，现有一种方案通过将具有紫外吸收能力的材料掺杂于柔性基板上的缓冲层中，用来防范多余紫外光对上层结构可能造成的灼伤。其中一种方案是使用氧化钛(tio2)颗粒作为紫外吸收材料。但是该“实心”材料的引入必然会导致oled器件的厚度增加，这与显示面板轻薄化的趋势相背离。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种柔性显示面板，可有效提升柔性显示面板的llo工艺良率，有利于柔性显示面板的轻薄化。

本发明的目的在于提供一种柔性显示面板的制作方法，可有效提升柔性显示面板的llo工艺良率，有利于柔性显示面板的轻薄化。

为实现上述目的，本发明提供一种柔性显示面板，包括柔性基板及设于柔性基板上的显示功能层；

所述柔性基板内含有紫外光吸收粒子，所述紫外光吸收粒子的材料为金属有机骨架化合物。

所述紫外光吸收粒子为含钛金属有机骨架化合物。

所述紫外光吸收粒子的粒径为500-700nm；

所述紫外光吸收粒子的比表面积大于1000m²·g^-1。

所述金属有机骨架化合物的最大吸收光波长为280-320nm。

所述柔性基板为聚酰亚胺基板；

所述显示功能层包括依次层叠设于所述柔性基板上的缓冲层、tft层、oled层及薄膜封装层。

本发明还提供一种柔性显示面板的制作方法，包括如下步骤：

步骤s1、提供玻璃基板，在所述玻璃基板上涂布形成柔性基板；

所述柔性基板内含有紫外光吸收粒子，所述紫外光吸收粒子的材料为金属有机骨架化合物；

步骤s2、在所述柔性基板上形成显示功能层；

步骤s3、采用激光对柔性基板的玻璃基板一侧进行扫描，使所述柔性基板与玻璃基板分离，将所述柔性基板从玻璃基板上剥离下来。

所述步骤s1中，所述紫外光吸收粒子为含钛金属有机骨架化合物。

所述紫外光吸收粒子的粒径为500-700nm；

所述紫外光吸收粒子的比表面积大于1000m²·g^-1。

所述金属有机骨架化合物的最大吸收光波长为280-320nm；

所述步骤s3中所采用的激光的波长为308nm。

所述步骤s1中所形成的柔性基板为聚酰亚胺基板；

所述步骤s2中所形成的显示功能层包括依次层叠设于所述柔性基板上的缓冲层、tft层、oled层及薄膜封装层。

本发明的有益效果：本发明提供的一种柔性显示面板，包括柔性基板及设于柔性基板上的显示功能层，所述柔性基板内含有金属有机骨架化合物的紫外光吸收粒子，该紫外光吸收粒子能够将llo制程中多余的激光能量吸收，防止llo制程中多余的激光能量灼伤柔性基板上的显示功能层，从而可有效提升柔性显示面板的llo工艺良率，降低生产成本，且具有超大比表面积的金属有机骨架化合物能够使紫外光吸收粒子与激光之间形成巨大接触面，从而在不增加柔性基板厚度的情况下，也能够达到较好的紫外激光吸收效果，有利于柔性显示面板的轻薄化。本发明提供的一种柔性显示面板的制作方法，通过在柔性基板中掺杂有金属有机骨架化合物的紫外光吸收粒子，该紫外光吸收粒子能够将llo制程中多余的激光能量吸收，防止llo制程中多余的激光能量灼伤柔性基板上的显示功能层，从而可有效提升柔性显示面板的llo工艺良率，降低生产成本，且具有超大比表面积的金属有机骨架化合物能够使紫外光吸收粒子与激光之间形成巨大接触面，从而在不增加柔性基板厚度的情况下，也能够达到较好的紫外激光吸收效果，有利于柔性显示面板的轻薄化。

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图说明

下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。

附图中，

图1为本发明柔性显示面板的结构示意图；

图2为本发明柔性显示面板的制作方法的流程示意图；

图3为本发明柔性显示面板的制作方法的步骤s1的示意图；

图4为本发明柔性显示面板的制作方法的步骤s2的示意图；

图5-6为本发明柔性显示面板的制作方法的步骤s3的示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图1，本发明首先提供一种柔性显示面板，包括柔性基板10及设于柔性基板10上的显示功能层20；

所述柔性基板10内含有用于吸收紫外光的金属有机骨架化合物(metal-organicframework，mof)的紫外光吸收粒子15，金属有机骨架化合物是一种具有超大比表面积的多孔高分子聚合物材料，因此mof材料的超大比表面积使得紫外光吸收粒子15能够提供巨大的接触面与激光接触，从而在柔性基板10内掺杂较少的金属有机骨架化合物的紫外光吸收粒子15的同时，也能有效吸收llo制程中多余的紫外光，与传统的“实心”紫外吸收材料(如tio2)相比，该金属有机骨架化合物的紫外光吸收粒子15在柔性基板10内的引入，能够在维持柔性显示面板轻薄的同时，保证llo的工艺良率。

具体地，该金属有机骨架化合物的紫外光吸收粒子15的比表面积大于1000m²·g^-1。

具体地，所述金属有机骨架化合物的最大吸收光波长为280-320nm。

具体地，所述紫外光吸收粒子15的材料为含钛金属有机骨架化合物(ti-containedmetal-organicframework，ti-mof)。

具体地，所述含钛金属有机骨架化合物是由双(乙酰丙酮基)二异丙基钛酸酯与对苯二甲酸在适当条件下反应得到。该含钛金属有机骨架化合物粒子的粒径大小为500-700nm，其比表面积(brunauer-emmett-teller，bet)可高达1364m²·g^-1，并由于钛(ti)元素的存在，该含钛金属有机骨架化合物在300nm左右处具有优良的紫外吸收能力，与llo制程所用激光波长(308nm)相匹配。

具体地，所述柔性基板10为聚酰亚胺(pi)基板。

具体地，所述显示功能层20包括依次层叠设于所述柔性基板10上的缓冲层21、tft层22、oled层23及薄膜封装层24。

具体地，缓冲层21为氮化硅(sinx)层、氧化硅(siox)层或两者的堆栈组合。

具体地，所述tft层22用于对所述oled层23行驱动，包括多个阵列排布的tft器件，所述tft器件为低温多晶硅(lowtemperaturepoly-silicon，ltps)型、或者金属氧化物半导体(metal-oxidesemiconductor，mos)型，例如铟镓锌氧化物(igzo)的金属氧化物半导体型。

具体地，所述oled层23包括设于所述tft层22上的第一电极层、设于所述tft层22和第一电极层上的像素定义层、设于第一电极层上的有机功能层、以及设于像素定义层和有机功能层上的第二电极层(未图示)。所述像素定义层在第一电极层上围出多个阵列排布的像素开口；所述有机功能层设于所述像素开口内；每一像素开口内的有机功能层、其下方对应的第一电极层、以及其上方对应的第二电极层共同构成一oled器件。

具体地，所述第一电极层、第二电极层分别用作oled器件的阳极(anode)和阴极(cathode)；所述有机功能层包括由下到上依次设置的空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层。

具体地，薄膜封装层24包括层叠设置的无机阻挡层和有机缓冲层(未图示)。

本发明的柔性显示面板，柔性基板10内含有用于吸收紫外光的金属有机骨架化合物的紫外光吸收粒子15，该紫外光吸收粒子15能够将llo制程中多余的激光能量吸收，防止llo制程中多余的激光能量灼伤柔性基板10上的显示功能层20，从而可有效提升柔性显示面板的llo工艺良率，降低生产成本，且具有超大比表面积的金属有机骨架化合物能够使紫外光吸收粒子15与激光之间形成巨大接触面，从而在不增加柔性基板10厚度的情况下，也能够达到较好的紫外激光吸收效果，有利于柔性显示面板的轻薄化。

基于上述的柔性显示面板，请参阅图2，本发明还提供一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤s1、如图3所示，提供玻璃基板50，在所述玻璃基板50上涂布形成柔性基板10。

所述柔性基板10内含有用于吸收紫外光的金属有机骨架化合物的紫外光吸收粒子15，mof材料的超大比表面积使得紫外光吸收粒子15能够提供巨大的接触面与激光接触，从而在柔性基板10内掺杂较少的mof的紫外光吸收粒子15的同时，也能有效吸收llo制程中多余的紫外光，与传统的“实心”紫外吸收材料(如tio2)相比，该mof的紫外光吸收粒子15在柔性基板10内的引入，能够在维持柔性显示面板轻薄的同时，保证llo的工艺良率。

具体地，所述紫外光吸收粒子15的比表面积大于1000m²·g^-1。

具体地，所述金属有机骨架化合物的最大吸收光波长为280-320nm。

具体地，所述柔性基板10为聚酰亚胺基板。

具体地，所述紫外光吸收粒子15为含钛金属有机骨架化合物。

具体地，所述含钛金属有机骨架化合物是由双(乙酰丙酮基)二异丙基钛酸酯与对苯二甲酸在适当条件下反应得到。该含钛金属有机骨架化合物粒子的粒径大小为500-700nm，其比表面积可高达1364m²·g^-1，并由于钛元素的存在，该含钛金属有机骨架化合物在300nm左右处具有优良的紫外吸收能力，与后续llo制程所用激光波长(308nm)相匹配。

步骤s2、如图4所示，在所述柔性基板10上形成显示功能层20。

具体地，所述步骤s2中所形成的显示功能层20包括依次层叠设于所述柔性基板10上的缓冲层21、tft层22、oled层23及薄膜封装层24。

具体地，所述缓冲层21为氮化硅层、氧化硅层或两者的堆栈组合。

具体地，所述步骤s2中所形成的tft层22用于对所述oled层23行驱动，包括多个阵列排布的tft器件，所述tft器件为低温多晶硅型、或者金属氧化物半导体型，例如铟镓锌氧化物的金属氧化物半导体型。

具体地，所述oled层23包括设于所述tft层22上的第一电极层、设于所述tft层22和第一电极层上的像素定义层、设于第一电极层上的有机功能层、以及设于像素定义层和有机功能层上的第二电极层(未图示)。所述像素定义层在第一电极层上围出多个阵列排布的像素开口；所述有机功能层设于所述像素开口内；每一像素开口内的有机功能层、其下方对应的第一电极层、以及其上方对应的第二电极层共同构成一oled器件。

具体地，所述第一电极层、第二电极层分别用作oled器件的阳极和阴极；所述有机功能层包括由下到上依次设置的空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层。

具体地，薄膜封装层24包括层叠设置的无机阻挡层和有机缓冲层(未图示)。

步骤s3、如图5-6所示，采用激光对柔性基板10的玻璃基板50一侧进行扫描，使所述柔性基板10与玻璃基板50分离，将所述柔性基板10从玻璃基板50上剥离下来。

具体地，所述步骤s3中所采用的激光的波长为308nm。

本发明的柔性显示面板的制作方法，通过在柔性基板10中掺杂用于吸收紫外光的金属有机骨架化合物的紫外光吸收粒子15，该紫外光吸收粒子15能够将llo制程中多余的激光能量吸收，防止llo制程中多余的激光能量灼伤柔性基板10上的显示功能层20，从而可有效提升柔性显示面板的llo工艺良率，降低生产成本，且具有超大比表面积的金属有机骨架化合物能够使紫外光吸收粒子15与激光之间形成巨大接触面，从而在不增加柔性基板10厚度的情况下，也能够达到较好的紫外激光吸收效果，有利于柔性显示面板的轻薄化。

综上所述，本发明提供的一种柔性显示面板，包括柔性基板及设于柔性基板上的显示功能层，所述柔性基板内含有金属有机骨架化合物的紫外光吸收粒子，该紫外光吸收粒子能够将llo制程中多余的激光能量吸收，防止llo制程中多余的激光能量灼伤柔性基板上的显示功能层，从而可有效提升柔性显示面板的llo工艺良率，降低生产成本，且具有超大比表面积的金属有机骨架化合物能够使紫外光吸收粒子与激光之间形成巨大接触面，从而在不增加柔性基板厚度的情况下，也能够达到较好的紫外激光吸收效果，有利于柔性显示面板的轻薄化。本发明提供的一种柔性显示面板的制作方法，通过在柔性基板中掺杂有金属有机骨架化合物的紫外光吸收粒子，该紫外光吸收粒子能够将llo制程中多余的激光能量吸收，防止llo制程中多余的激光能量灼伤柔性基板上的显示功能层，从而可有效提升柔性显示面板的llo工艺良率，降低生产成本，且具有超大比表面积的金属有机骨架化合物能够使紫外光吸收粒子与激光之间形成巨大接触面，从而在不增加柔性基板厚度的情况下，也能够达到较好的紫外激光吸收效果，有利于柔性显示面板的轻薄化。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。