技术特征：
技术总结
本发明提供一种搬送装置的示教方法，能够抑制铅垂方向的示教精度的偏差。在一个实施方式的搬送装置的示教方法中，搬送装置具有：基板保持部，其具备用于通过抽吸来吸附保持基板的抽吸孔；驱动机构，其使基板保持部移动；以及压力检测部，其检测与抽吸孔连通的抽吸路径的压力，搬送装置的示教方法包括以下步骤：第一移动步骤，使基板保持部移动到基板的下方；第二移动步骤，在对抽吸路径进行抽吸的状态下检测抽吸路径的压力，并且使基板保持部从基板的下方朝向上方移动；判定步骤，基于抽吸路径的压力来判定基板保持部是否接触到基板；以及存储步骤，将判定为基板保持部接触到基板时的基板保持部的位置存储为基准位置。
技术研发人员：小林俊之;北原竜;越石和也;佐藤淳哉;须藤骏;千叶俊光
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2018.12.12
技术公布日：2019.07.05