一种具有电子阻挡能力的半导体发光元件的制作方法

文档序号:21196931发布日期:2020-06-23 18:51阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有电子阻挡能力的半导体发光元件,其特征在于,包括:

衬底层(11);

缓冲层(12),位于所述衬底层(11)上;

n型半导体层(13),位于所述缓冲层(12)上;

n型掺杂层(14),位于所述n型半导体层(13)上;

量子阱发光层(15),位于所述n型掺杂层(14)上;

电子阻挡层(16),位于所述量子阱发光层(15)上,所述电子阻挡层(16)包括依次层叠于量子阱发光层(15)上的第一电子阻挡层(161)、第二电子阻挡层(162)和第三电子阻挡层(163),其中,所述第一电子阻挡层(161)的材料为alx1inyga1-x1-yn,所述第二电子阻挡层(162)的材料为alx2ga1-x2n,所述第三电子阻挡层(163)的材料为alx3in1-x3p;

p型掺杂层(17),位于所述电子阻挡层(16)上;

p型半导体层(18),位于所述p型掺杂层(17)上。

2.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,0<x1≤0.4,0<y≤0.2。

3.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,所述第一电子阻挡层(161)的厚度为100-200nm。

4.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,0<x2<0.7。

5.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,所述第二电子阻挡层(162)的厚度为60-100nm。

6.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,0<x3<0.5。

7.根据权利要求1所述的半导体发光元件,其特征在于,所述第三电子阻挡层(163)的厚度为20-50nm。


技术总结
本发明涉及一种具有电子阻挡能力的半导体发光元件,包括:衬底层;缓冲层,位于所述衬底层上;N型半导体层,位于所述缓冲层上;N型掺杂层,位于所述N型半导体层上;量子阱发光层,位于所述N型掺杂层上;电子阻挡层,位于所述量子阱发光层上,所述电子阻挡层包括依次层叠于量子阱发光层上的第一电子阻挡层、第二电子阻挡层和第三电子阻挡层;P型掺杂层,位于所述电子阻挡层上;P型半导体层,位于所述P型掺杂层上。本发明通过在量子阱发光层依次层叠第一电子阻挡层、第二电子阻挡层和第三电子阻挡层,从而能够有效阻止多于的电子从量子阱发光层跃迁至P型半导体层,改善发光二极管的发光效率。

技术研发人员:李建华;李全杰;刘向英
受保护的技术使用者:西安智盛锐芯半导体科技有限公司
技术研发日:2018.12.13
技术公布日:2020.06.23
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