一种FDSOI可控硅静电保护器件的制作方法

文档序号:17632802发布日期:2019-05-11 00:13阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种内嵌GGNMOS和GDPMOS的FDSOI可控硅静电保护器件,包括N阱和P阱,N阱和P阱邻接,N阱内设有第一P+注入区,P阱内设有第一N+注入区,N阱与P阱的交界处嵌设有第二P+注入区和第二N+注入区。基于FDSOI的全介质隔离特点,本发明将GGNMOS与GDPMOS内嵌到SCR路径上,从而提高其静电放电效率,而且具有低触发电压、高维持电压、结构简单、易于集成等优点,适用于FDSOI器件及电路的静电保护。

技术研发人员:丁玎;谢峰;何峰;曾庆平
受保护的技术使用者:中国电子科技集团公司第四十八研究所
技术研发日:2018.12.21
技术公布日:2019.05.10
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