具有高短波探测效率的可见光硅增益接收器阵列的制作方法

文档序号:17578885发布日期:2019-05-03 20:45阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
具有高短波探测效率的可见光硅增益接收器阵列,属于光电技术领域。解决了现有技术中雪崩光电二极管存在着无法同时满足高蓝光灵敏度、宽波段全覆盖以及高截止频率的问题。本发明的阵列器件,包括多个探测单元、多个隔离区和多个电极引线;多个探测单元按规则排布形成阵列,每个探测单元包括从上至下依次设置的非耗尽层、吸收层、场控层、雪崩层和衬底层,还包括设置在非耗尽层上表面的阳极和透光层,以及设置在衬底层的下表面的阴极;隔离区设置在相邻的两个探测单元之间;电极引线连接多个探测单元之间的电极,连接方式为串联、并联、先串联后并联或先并联后串联。该阵列器件蓝光响应度高、可见光全波段的量子效率高。

技术研发人员:王维彪;梁静秋;张军;高丹;吕金光;陶金;秦余欣;陈锋
受保护的技术使用者:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
技术研发日:2018.12.27
技术公布日:2019.05.03
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