技术特征：
技术总结
本发明涉及一种用于微波无线能量传输的肖特基二极管及其制备方法，所述方法包括：制备硅衬底；在所述衬底上形成第一Ge层；在所述第一Ge层上形成第二Ge层；将所述第二Ge层进行热退火处理，得到张应变Ge层；在所述张应变Ge层上形成第一N型Ge层；在所述第一N型Ge层表面形成第一电极和第二电极。应用本发明实施例，能够提高肖特基二极管的电子迁移率，从而提升微波无线能量传输系统的最大转换效率。
技术研发人员：李薇;刘奕晨
受保护的技术使用者：西安科锐盛创新科技有限公司
技术研发日：2018.12.28
技术公布日：2019.05.03