技术特征：
技术总结
本发明公开了一种缺陷监控分析系统，包含两部分模块：模块一：为已知器件失效问题分析系统，所述的已知器件失效问题分析系统包含制程问题以及设备问题，将制程问题中的发现的缺陷与机台参数进行关联，建立内在的联系，形成数据库；模块二：基线上升趋势问题分析系统，通过将基线上升趋势曲线与机台动作时间点进行对比，找出缺陷发生原因。本发明所述的缺陷监控分析系统，整合相关工艺参数，通过建立缺陷监控分析系统将缺陷与机台及机台相关参数建立对应关系，设计一种科学有效的监控手段，可以及时的发现相关参数变化及可能带来的缺陷影响，有效减低缺陷发生的概率，提升产品良率。
技术研发人员：汪金凤
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2018.12.29
技术公布日：2019.05.07