一种全自动离子束刻蚀机的制作方法

本实用新型涉及刻蚀技术领域，具体为一种全自动离子束刻蚀机。

背景技术：

到目前为止，离子束刻蚀机一种较为成熟的干法刻蚀工艺，其主要利用离子束对待刻蚀物体的表面进行轰击，将物体表面未覆盖掩膜的部分给去除，从而达到刻蚀的目的，其因拥有分辨率高，且能刻蚀大多数材料，因而得以广泛运用。当需对工件进行双面刻蚀时，需将待刻蚀物取出才能实现，这显然会影响刻蚀过程中的效率。针对上述所出现的问题，并达到提高对大型玻璃的刻蚀效率，本实用新型提出了一种全自动离子束刻蚀机。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种全自动离子束刻蚀机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种全自动离子束刻蚀机，包括矩形板、横臂、纵杆、转动盘、离子放射管、圆形夹板和底座，所述矩形板表面上加工有横向凹槽和纵向凹槽，所述横臂滑动安装城横向凹槽内，所述横臂上安装有滑动套杆，且横臂和滑动套杆活动连接，所述滑动套杆上固定安装有纵杆，且滑动套杆正下方平行设置有转动盘，转动盘的轴线与纵杆的轴线相重合，所述转动盘与连接模块固定相连，且转动盘与连接模块的上端面位于同一平面上，所述矩形板固定于壳体的内表面，所述壳体内表面的底部设置有底座，底座上放置有待刻蚀玻璃，且底座表面与横臂平行。

优选的，所述连接模块的一端安装有离子放射管，且离子放射管的轴线与纵杆的轴线平行。

优选的，所述待刻蚀玻璃放置于底座上，且待刻蚀玻璃的外圈设置有置于底座上的圆形夹板。

优选的，所述圆形夹板的开口处设置有通电磁铁。

优选的，所述圆形夹板的一端固定安装有转动管，且转动管的另一端竖向滑动安装在纵向凹槽内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型能实现四轴联动，依次有：横臂在横向凹槽中的移动，滑动套杆在横臂上的移动，转动盘在纵杆上的上下移动以及转动盘绕纵杆的旋转，通过四轴联动，可以实现离子放射管在空间上的任意移动；

2、本实用新型同时还设置有圆形夹板，当待刻蚀玻璃其中一面刻蚀结束后，借助通电磁铁和圆形夹板将待刻蚀玻璃夹住，通过调节转动管向上移动，并旋转180度，从而可以实现待刻蚀玻璃另一面的刻蚀，具有结构简单、使用方便、使用效果好的优点。

附图说明

图1为本实用新型一种全自动离子束刻蚀机壳体内部结构示意图；

图2为本实用新型一种全自动离子束刻蚀机整体结构示意图；

图3为本实用新型一种全自动离子束刻蚀机离子放射管仰视图。

图中：1-矩形板；2-横臂；3-滑动套杆；4-壳体；5-纵杆；6-转动盘； 7-连接模块；8-离子放射管；9-通电磁铁；10-圆形夹板；11-待刻蚀玻璃； 12-底座；13-转动管；14-横向凹槽；15-纵向凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种全自动离子束刻蚀机，包括矩形板1、横臂2、纵杆5、转动盘6、离子放射管8、圆形夹板10和底座12，所述矩形板1表面上加工有横向凹槽14和纵向凹槽15，所述横臂2 滑动安装城横向凹槽14内，所述横臂2上安装有滑动套杆3，且横臂2和滑动套杆3活动连接，所述滑动套杆3上固定安装有纵杆5，且滑动套杆3正下方平行设置有转动盘6，转动盘6的轴线与纵杆5的轴线相重合，所述转动盘 6与连接模块7固定相连，且转动盘6与连接模块7的上端面位于同一平面上，所述矩形板1固定于壳体4的内表面，所述壳体4内表面的底部设置有底座 12，底座12上放置有待刻蚀玻璃11，且底座12表面与横臂2平行。

所述连接模块7的一端安装有离子放射管8，且离子放射管8的轴线与纵杆5的轴线平行，离子放射管8上设置有不同口径的孔；所述待刻蚀玻璃11 放置于底座12上，且待刻蚀玻璃11的外圈设置有置于底座12上的圆形夹板 10；所述圆形夹板10的开口处设置有通电磁铁9；所述圆形夹板10的一端固定安装有转动管13，且转动管13的另一端竖向滑动安装在纵向凹槽15内，当待刻蚀玻璃11其中一面刻蚀结束后，借助通电磁铁9和圆形夹板10将待刻蚀玻璃11夹住，通过调节转动管13向上移动，并旋转180度，从而可以实现待刻蚀玻璃11另一面的刻蚀。

工作原理：该实用新型能实现四轴联动，依次有：横臂2在横向凹槽14 中的移动，滑动套杆3在横臂2上的移动，转动盘6在纵杆5上的上下移动以及转动盘6绕纵杆5的旋转，通过四轴联动，可以实现离子放射管8在空间上的任意移动；本实用新型同时还设置有圆形夹板10，当待刻蚀玻璃11其中一面刻蚀结束后，借助通电磁铁9和圆形夹板10将待刻蚀玻璃夹住，通过调节转动管13向上移动，并旋转180度，从而可以实现待刻蚀玻璃11另一面的刻蚀，具有结构简单、使用方便、使用效果好的优点。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。