一种便于散热的光电探测器的制作方法

文档序号:16032623发布日期:2018-11-23 20:54阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型属于光电探测技术领域,具体为一种便于散热的光电探测器,包括基底,其特征在于:基底上设置有导热层,所述的导热层为双层复合结构,包括第一导热层和第二导热层,所述的第一导热层为石墨烯,第一导热层厚度为50 nm,所述的第二导热层设置在第一导热层之上,第二导热层为铝箔,第二导热层的厚度为500 nm,所述的第二导热层表面的均方根粗糙度小于3 nm,第二导热层同时作为光电探测器的反射阳极,所述的第二导热层上设置有阳极修饰层,所述的阳极修饰层上设置有光敏层,所述的光敏层上设置有阴极修饰层,所述的阴极修饰层上设置有透明阴极层,所述的透明阴极层为双层复合结构,包括依次层叠的第一阴极层和第二阴极层。

技术研发人员:晋佳佳
受保护的技术使用者:长泰县华晟光电科技有限公司
技术研发日:2018.01.22
技术公布日:2018.11.23

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