一种硅片花篮的制作方法

文档序号:15224349发布日期:2018-08-21 17:56阅读:150来源:国知局

本实用新型涉及一种硅片花篮。



背景技术:

硅片花篮是插片机插片过程的重要组成部分,该部件的性能直接影响到插片机插片时的稳定性、插片质量、插片数量。目前花篮生产厂家普遍设计为上下不对称,片槽与安装杆采用装配工艺。上下不对称设计容易导致方向弄错后不能正常插片;片槽与安装杆采用装配工艺,导致硅片花篮容易变形且精度相对差,最终导致硅片生产效率低下。本实用新型旨在降低硅片花篮的出错率并提高花篮的稳定性,提高产量并减少不必要的损失。



技术实现要素:

本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种装配简易、后期可矫正的硅片花篮。

为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案为:一种硅片花篮,包括相对设置的上端板与下端板,上端板与下端板间通过若干定位销相对设有两块硅片插槽板,上端板上表面与下端板下表面分别设有三个用于施力以矫正花篮的矫正销,其中两个矫正销分布与上端板前侧,另一个个矫正销分布于上端板后侧中部,且三个矫正销成等腰三角形分布,硅片插槽板上端设有与上端板相配合的限位销,硅片插槽板下端设有与下端板相配合的限位销;上端板与下端板间在送片皮带的出料侧设有两根限制硅片位置使送片皮带上的硅片留置于插槽板得插槽中的限位杆。

作为一种优选的方案,上端板与下端板间还设有两根加强杆。

作为一种优选的方案,所述的上端板与下端板均冲裁出容纳硅片输送带末端的缺口。

作为一种优选的方案,所述的硅片插槽板为注塑成型的硅片插槽板。

作为一种优选的方案,硅片花篮整体为上下对称结构。

本实用新型的有益效果是:

由于硅片插片塑料板采用注塑一体式,减少了人工装配流程,提高与保障了硅片花篮的精度与耐用度,减少了硅片花篮生产的前期投入,且硅片花篮上设有矫正销,可后期对硅片花篮进行精度调整,进一步扩大在后期维护上的优势。

硅片花篮整体采用上下对称结构,零部件图纸简洁在加工成本上具有一定优势,在装配上不易混装出错,在生产时不会因花篮颠倒放错而无法插片,大大提高了加工、装配、生产的便捷性和减少错误率。

附图说明

图1是本实用新型的主视结构示意图。

图2是本实用新型的左视结构示意图。

图3是本实用新型的俯视结构示意图。

图4是本实用新型的等轴侧视结构示意图。

图1至图4中:1.上端板,2.矫正销,3.硅片限位杆,4.定位销,5加强杆,6.硅片插槽塑料板,7.限位销,8.下端板。

具体实施方式

下面结合附图,详细描述本实用新型的具体实施方案。

如图1-4所示,一种硅片花篮,包括上端板1、下端板8、硅片限位杆3、硅片插槽塑料板6,所述上端板1与下端板8冲裁有矩形缺口,以容纳硅片输送带末端,上端板1上设有矫正销2,矫正销2与上端板1螺纹连接,矫正销2一共有3个,2个矫正销2分布与上端板1前侧,1个矫正销2分布于上端板1后侧中部,且3个矫正销2成等腰三角形分布,后期可通过矫正销2对硅片花篮的塑形变形做出矫正。

上端板1前侧设有定位销孔,通过定位销孔与定位销4过盈配合连接,定位销4下设有硅片插槽塑料板6,定位销4与硅片插槽塑料板6过盈配合连接,硅片插槽塑料板6通过定位销4过盈配合定位连接于上端板1上,硅片插槽塑料板6后侧设有限位销7,限位销7限制硅片插槽塑料板6与上端板1间的距离,硅片插槽塑料板6由底板与隔片组成,上端板1后侧设有一组加强杆5、一组硅片限位杆3,一组加强杆5连接上端板1与下端板8,为上端板1与下端板8的连接起加固作用,保障在工作行程中花篮结构的稳定性,一对硅片限位杆3连接上端板1与下端板,在硅片安装时起着对硅片起着限位作用,保障硅片始终处于花篮的有效位置。硅片插槽塑料板6下设有定位销4与限位销7,定位销4下设有下端板8,定位销4与下端板8、硅片插槽塑料板6均通过过盈配合连接,下端板8下设有矫正销2,矫正销2与下底板8通过螺纹连接,下端板8下侧矫正销2排布与上端板1矫正销2排布一致。

工作时,硅片输送带宽度小于硅片插槽塑料板6间距离,且上端板1与下端板8冲裁有大于硅片输送带宽度的矩形。硅片花篮设于硅片输送带末端且硅片输送带末端一部分设于硅片插槽塑料板6间;输送带从硅片插槽塑料板6顶部开始依次将硅片插入硅片插槽塑料板6的插槽中,每插入一片硅片,硅片花篮将上升一个槽位,为下一片硅片准备预留槽位。

工作时,由于夹具夹持等因素硅片花篮产生塑形变形,精度上不能满足机构工作要求;通过现有夹具夹持上端板1与下端板上8上成等腰三角形分布的矫正销2对硅片花篮进行矫正,恢复应有精度以满足机构工作要求。

上述的实施例仅例示性说明本发明创造的原理及其功效,以及部分运用的实施例,而非用于限制本实用新型;应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。

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