本实用新型涉及平板显示制造技术领域，具体地涉及一种软烤设备。
背景技术：
光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤之一，主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上。光刻工艺的主要工艺流程有：表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烤、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。而软烤可以除去溶剂、增强黏附性、释放光刻胶膜内的应力、防止光刻胶污染设备，软烤工艺在整个光刻工艺流程中具有着重要的作用。但是在现有的软烤技术中，加热板产生热量，并传递给基板，在此过程中，加热板的边缘热交换较为活跃，热量流失大，而中心位置与外界的热交换少，热流失小，因此导致加热板的边缘温度相对较低，因此基板受热不均匀，基板的四周变异量较大，均一性较差。
技术实现要素：
为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种软烤设备。本实用新型要解决的技术问题通过以下技术方案实现：
本实用新型实施例提供一种软烤设备，包括升降底座、底板、加热板和设置于所述底板上的罩体，所述罩体包括四个侧壁和顶盖，所述四个侧壁由电磁加热板构成，且至少一个侧壁上开设有基板进出口，所述基板进出口上安装有封闭门；
所述加热板固定在所述底板的上表面，所述升降底座安装在所述底板的下表面，所述升降底座上设置有多个顶针，所述底板和所述加热板上开设有多个能使所述顶针移动的通孔。
在本实用新型的一个实施例中，所述封闭门连接有气泵，且所述封闭门由电磁加热板构成。
在本实用新型的一个实施例中，所述顶盖由电磁加热板构成。
在本实用新型的一个实施例中，所述罩体通过锁附装置固定在所述底板上。
在本实用新型的一个实施例中，所述四个侧壁和顶盖由真空隔层构成。
在本实用新型的一个实施例中，所述四个侧壁和顶盖上设置有真空泵。
在本实用新型的一个实施例中，所述四个侧壁和顶盖为空心腔体，且所述空心腔体内填充有保温材料。
在本实用新型的一个实施例中，所述保温材料为塑料泡沫。
本实用新型的有益效果为：
1、本实施例通过设置罩体，且罩体上开设在有基板进出口，机械手将基板通过基板进出口放置到罩体内进行软烤，罩体的侧壁由电磁加热板构成，电磁加热板产生的热量能够补偿罩体内部与外部的热交换活动，因此，避免了加热板的边缘与外部冷空气接触，因此加热板的边缘温度不会因热交换而降低，保证了基板受热均匀，因此基板的四个边缘变异量减小，均一性得到提高。
2、本实施例中四个侧壁和顶盖均由真空隔层构成，真空隔层能够隔离空气流通，能够起到隔绝罩体内部与外部冷空气进行热交换活动，这样加热板加热后，由于加热板的四边缘与外部冷空气不能进行热交换，因此不会造成热量流失，保证了加热板的边缘的温度与中心位置处的温度均一，因此基板受热均匀，均一性较好。
3、本实施例中，四个侧壁和顶盖为空心腔体，且空心腔体内填充有保温材料，保温材料具有隔热作用，因此能够减少腔体内部和外部的热交换活动，降低加热板边缘的热量流失，从而提高基板受热均匀性，缩小基板边缘变异量，提高均一性。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的一种软烤设备的结构图；
图2为本实用新型实施例提供的罩体和底板的爆炸结构示意图。
附图标记说明：
升降底座10；
顶针11；
罩体20；
侧壁21；
封闭门211；
基板进出口212；
顶盖22；
底板30；
加热板40；
通孔41。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。
实施例一
如图1-图2所示，图1是本实用新型实施例提供的一种软烤设备的结构图；图2为本实用新型实施例提供的罩体和底板的爆炸结构示意图。具体的，本实用新型提供一种软烤设备，包括升降底座10、底板30、加热板 40和设置于所述底板30上的罩体20，所述加热板40固定在所述底板30 的上表面，所述升降底座10安装在所述底板30的下表面，所述升降底座 10上设置有多个顶针11，所述底板30和所述加热板40上开设有多个能使所述顶针11移动的通孔41；
升降底座10固定在底板30下方，并可相对底板30上下运动，升降底座10上设置有多个顶针11，该多个顶针11固定在升降底座10上，并能够随着升降底座10上下移动。
底板30的上表面固定有加热板40，加热板40和底板30上开设有通孔 41，该通孔41能够允许升降底座10内的顶针11通过，在工作时，升降底座10上升靠近底板30，顶针11插入底板30和加热板40上开设的通孔41，并高出加热板40一定距离，机械手将基板送入软烤设备内，顶针11将基板顶起，通过顶针11接收机械手运送过来的基板能够保证基板受力均匀，防止基板直接在机械手和加热板40之间传递造成刚性冲击。
当顶针11承接住基板后，升降底座10下降，顶针11随着升降底座10 下降，基板随着顶针11向下移动，并最终与加热板40接触。
需要说明的是，升降底座10下降的过程中，顶针11并不会完全从底板30和加热板40的通孔41中退出，而是会到达与加热板40上表面平齐或者比加热板40上表面稍低的位置，然后停止下降。这样就可以避免基板的下表面与外部冷空气直接接触。
进一步的，当加热板40进行加热时，由于加热板40的边缘与外界环境的热交换较为活跃，导致热量流失较大，因此加热板40的边缘处温度相对中心位置处的温度较低，因此导致基板受热不均匀，基板的均一性不好。为了解决该技术问题，本实施例中，软烤过程是在罩体20内进行的，罩体 20设置于底板30上，包括四个侧壁21和顶盖22，四个侧壁21均由电磁加热板构成，电磁加热板通电产生热量，罩体20外部的冷空气与罩体20 侧壁21接触进行热交换，避免了冷空气与加热板40的边缘接触，带走加热板40边缘的热量；另一方面，四个侧壁21产生的热量还可以用于补偿加热板40边缘的热辐射损失，保证加热板40边缘的温度与加热板40中心位置处的温度相同，因此保证了基板受热均匀，这样基板的四个边缘的变异量就会减小，提高基板的均一性。
本实施例中，至少一个侧壁21上开设有基板进出口212，机械手通过该基板进出口212将基板传递到软烤设备的顶针11上。为了避免加热板40 靠近基板进出口212的一侧的边缘热损失较大，本实施例中，在基板进出口212处安装有封闭门211。机械手将基板输送到软烤设备内之后，机械手退出，封闭门211关闭，将基板进出口212封闭起来。
本实施例中，顶盖22可以是中空双层保温钢化玻璃材质构成，便于操作者观察软烤设备内部的情况。进一步的，顶盖22还可以由钢板材质构成。
实施例二
在上述实施例的基础上，本实施例对软烤设备进行进一步详细说明。
本实施例中，所述封闭门211连接有气泵，通过气泵控制封闭门211 打开或者关闭。进一步的，基板进出口212安装有密封圈，气泵控制封闭门211关闭基板进出口212，封闭门211与密封圈接触，形成较好的密封效果，隔绝外部冷空气进入罩体内部。
进一步地，为了避免外接冷空气以封闭门211为导热媒介与加热板40 进行热交换，本实施例中，封闭门211由电磁加热板构成，封闭门211本身能够产生热量，隔绝冷空气带走加热板40的热量。
可选的，本实施例中，可以将四个侧壁中的一个侧壁所处位置设为基板进出口，而将该侧壁设置为封闭门，机械手通过该侧壁所处的位置将基板输送至罩体内部，然后机械手退出，作为封闭门的侧壁闭合，与相邻的侧壁和顶盖通过扣件固定，从而使罩体形成完整的腔体。
进一步的，虽然四个侧壁21能够隔绝外部冷空气与罩体20内部进行热交换，但是四个侧壁21与顶盖22接触的区域，依然会导致冷空气进入罩体20内，降低了罩体20的保温效果。为了解决该技术问题，本实施例中，顶盖22也由电磁加热板构成，也即罩体20的五个表面均由电磁加热板构成，全方位杜绝外部冷空气带走加热板40边缘的热量，保证基板受热均匀。
进一步的，本实施例中，罩体20通过锁附装置固定在底板30上，能够避免罩体20在底板30上滑移，而且锁附装置具体包括密封圈、锁扣和气缸，锁扣将罩体20固定到底板30上，密封圈起到隔绝内外空气流动的作用；当需要移开罩体20时，则打开锁扣，利用气缸将罩体20与底板30 分离。
实施例三
在上述实施例的基础上，本实施例对软烤设备进行进一步详细说明。
具体的，所述四个侧壁21和顶盖22由真空隔层构成。
真空隔层能够隔离热传递，具有杜绝罩体20内部和外部热量交换的作用，通过将四个侧壁21和顶盖22均设置为真空隔层，能够起到隔绝罩体 20内部与外部冷空气进行热交换活动，这样加热板40加热后，由于加热板 40的四边缘与外部冷空气不能进行热交换，因此不会造成热量流失，保证了加热板40的边缘的温度与中心位置处的温度均一，因此基板受热均匀，均一性较好。
本实施例中，构成四个侧壁21和顶盖22的真空隔层可以是预先根据软烤设备的规格设计好的成品，真空隔层成型后不可进行变更。
进一步的，罩体20的四个侧壁21和顶盖22上均设置真空泵，通过真空泵对真空隔层进行抽真空，这种真空隔层能够根据实际需求进行设置，例如变更真空隔层的真空度，以及在使用一段时间后，对真空隔层进行抽真空，以加强其隔热效果。使得真空隔层的真空隔热效果更好。
实施例四
在上述实施例的基础上，本实施例对软烤设备进行进一步详细说明。
具体的，所述四个侧壁21和顶盖22为空心腔体，且所述空心腔体内填充有保温材料。所述保温材料为塑料泡沫。
本实施例中，空心腔体内填充有保温材料，保温材料具有隔热作用，因此能够减少腔体内部和外部的热交换活动，降低加热板40边缘的热量流失，从而提高基板受热均匀性，缩小基板边缘变异量，提高均一性。
需要说明的是，上述实施例中，还可以有多种不同组合，例如，四个侧壁21为电磁加热板，而顶盖22为空心腔，且空心腔内填充有保温材料。或者，四个侧壁21为电磁加热板，而顶盖22为真空隔层。或者，四个侧壁21为真空隔层，而顶盖22为空心腔，空心腔内填充保温材料等等，本实施例对于上述的多种可能的组合方式不做限定。
综上所述，本文中应用了具体个例对本实用新型提供的一种软烤设备的实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方案及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制，本实用新型的保护范围应以所附的权利要求书为准。