1.一种半导体器件,其特征在于,包括:
衬底(210),具有器件隔离结构(253)和埋入式栅极(260);
绝缘结构(270),覆盖所述埋入式栅极并形成于所述衬底上;
位线接触栓塞(242),在沉积炉管机台中形成于所述绝缘结构中,并位于相邻两个埋入式栅极之间的衬底上方;以及
第一自然氧化层(222A),形成于所述衬底与所述位线接触栓塞之间,在所述沉积炉管机台中清洗所述第一自然氧化层,以使所述第一自然氧化层的厚度小于等于2埃。
2.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述位线接触栓塞形成于原位P掺杂多晶硅,并且掺杂P的浓度为每立方厘米1019个至每立方厘米5×1021个。
3.根据权利要求1或2所述的半导体器件,其特征在于,所述半导体器件还包括:
位线(243),覆盖所述位线接触栓塞,且所述位线的顶部和侧壁被所述绝缘结构包围;
存储节点接触栓塞(231),在所述沉积炉管机台中形成于所述绝缘结构中,并位于相邻的所述埋入式栅极和所述器件隔离结构之间的衬底上方;
第二自然氧化层(322),形成于所述衬底与所述存储节点接触栓塞之间,在所述沉积炉管机台中清洗所述第二自然氧化层,以使所述第二自然氧化层的厚度小于等于2埃。
4.根据权利要求1或2所述的半导体器件,其特征在于,所述半导体器件还包括:
位线,覆盖所述位线接触栓塞,且所述位线的顶部和侧壁被所述绝缘结构包围;
存储节点接触栓塞,在所述沉积炉管机台中形成于所述绝缘结构中,并位于相邻的所述埋入式栅极和所述器件隔离结构之间的衬底上方,在所述沉积炉管机台中清洗所述衬底,以使所述存储节点接触栓塞与所述衬底直接接触。
5.一种半导体器件,其特征在于,包括:
衬底,具有器件隔离结构和埋入式栅极;
绝缘结构,覆盖所述埋入式栅极并形成于所述衬底上;
位线接触栓塞,在沉积炉管机台中形成于所述绝缘结构中,并位于相邻两个埋入式栅极之间的衬底上方,在所述沉积炉管机台中清洗所述衬底,以使所述位线接触栓塞与所述衬底直接接触。
6.根据权利要求5所述的半导体器件,其特征在于,所述位线接触栓塞形成于原位P掺杂多晶硅,并且掺杂P的浓度为每立方厘米1019个至每立方厘米5×1021个。
7.根据权利要求5或6所述的半导体器件,其特征在于,所述半导体器件还包括:
位线,覆盖所述位线接触栓塞,且所述位线的顶部和侧壁被所述绝缘结构包围;
存储节点接触栓塞,在所述沉积炉管机台中形成于所述绝缘结构中,并位于相邻的所述埋入式栅极和所述器件隔离结构之间的衬底上方;
自然氧化层,形成于所述衬底与所述存储节点接触栓塞之间,在所述沉积炉管机台中清洗所述自然氧化层,以使所述自然氧化层的厚度小于等于2埃。
8.根据权利要求5或6所述的半导体器件,其特征在于,所述半导体器件还包括:
位线,覆盖所述位线接触栓塞,且所述位线的顶部和侧壁被所述绝缘结构覆盖;
存储节点接触栓塞,在所述沉积炉管机台中形成于所述绝缘结构中,并位于相邻的所述埋入式栅极和所述器件隔离结构之间的衬底上方,在所述沉积炉管机台中清洗所述衬底,以使所述存储节点接触栓塞与所述衬底直接接触。
9.一种半导体器件,其特征在于,包括:
衬底,具有覆盖位线的绝缘结构;
存储节点接触栓塞,在沉积炉管机台中形成于所述绝缘结构中;
自然氧化层,形成于所述衬底与所述存储节点接触栓塞之间,在所述沉积炉管机台中清洗所述自然氧化层,以使所述自然氧化层的厚度小于等于2埃。
10.一种半导体器件,其特征在于,包括:
衬底,具有覆盖位线的绝缘结构;
存储节点接触栓塞,在沉积炉管机台中形成于所述绝缘结构中,在所述沉积炉管机台中清洗所述衬底,以使所述存储节点接触栓塞与所述衬底直接接触。