工艺腔的制作方法

本公开涉及半导体器件生产领域，尤其涉及工艺腔。

背景技术：

在半导体加工中采用的热反应、热处理工艺，是一种获得更好的材料的常用的方法。许多热反应及热处理工艺需要在包括工艺腔的设备中进行。该工艺腔内设置有多个加热丝，该加热丝放在加热槽内，通过热辐射对上方的加热板进行加热，生产线中需要热处理的物品进入工艺腔后，将放置到加热板上进行加热，加热板的温度需要保证物品的加热均匀性，故该加热板下各个加热丝附近设置有热偶进行温度反馈分别对各加热丝进行闭环PID控制，如此保证加热板温度的均匀性。

但是，在真空系统下，各组加热丝因为是各自独立控制，在这种情况下会产生加热不均匀，温差有可能导致加热丝与加热槽受热变形的差异，导致加热丝在加热槽弯角处可能因为形变而受力断裂，并且因为热偶位于加热板下方，无法准确反馈加热板上表面的温度，即与待加热物品相接触的加热区域的实际温度，无法确认真实加热均匀性。

技术实现要素：

本公开实施例提供工艺腔。所述技术方案如下：

根据本公开实施例的第一方面，提供一种工艺腔，包括：

加热部，位于所述工艺腔底部，包括：加热板；N个加热器件，位于所述加热板下方，所述N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数；

测温部，位于所述工艺腔的侧壁上，用于测量所述加热板上表面分布的 N个加热区域的N个感应温度；

控制器，连接所述测温部和所述加热部，根据所述测温部测量出的N个感应温度，控制所述N个加热器件各自的加热功率。

在一个实施例中，所述测温部包括：

透光玻璃，位于所述工艺腔的侧壁上；

N个测温传感器，位于所述透光玻璃相对所述工艺腔侧壁的一侧，与所述控制器连接，通过所述透光玻璃分别测量所述N个加热区域的N个感应温度。

在一个实施例中，所述测温部还包括：

遮挡板，靠近所述透光玻璃相对于所述工艺腔侧壁的另一侧；

旋转杆，连接所述遮挡板，在所述工艺腔进行工艺期间旋转，使得所述遮挡板遮挡住所述透光玻璃，和/或，在所述工艺腔进行加热期间旋转使所述遮挡板不遮挡所述透光玻璃。

在一个实施例中，所述测温部还包括：

N个测温器件，位于所述加热板下方，分别设置在对应加热器件的预设距离处，连接所述控制器，将检测到的温度反馈给所述控制器。

在一个实施例中，所述测温传感器包括红外测温传感器和/或激光测温传感器。

根据本公开实施例的第二方面，提供一种工艺腔的加热控制方法，应用于上所述的工艺腔，包括：

获取加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度；

根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围；其中，所述N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数。

在一个实施例中，所述方法还包括：

获取至少一个阶段温度设定值，所述阶段温度设定值小于所述目标温度范围；

所述根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围，包括：

根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述 N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，直至符合对应的目标温度范围；其中，在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围。

在一个实施例中，所述方法还包括：

在所述N个感应温度从当前温度达到下一个阶段温度设定值的过程中，确定任意两个感应温度之间的温差；

在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述 N个感应温度的平均值。

在一个实施例中，所述方法还包括：

在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述 N个加热区域的感应温度的平均值加上预设温度值。

在一个实施例中，所述方法还包括：

获取每个阶段温度设定值对应的加热时间段；

所述根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，包括：

针对每个阶段温度设定值，在所述阶段温度设定值对应的加热时间段内，根据所述N个感应温度，控制N个加热器件的加热功率，使得所述N个加热区域的N个感应温度达到所述阶段温度设定值，直至所述阶段温度设定值对应的加热时间段结束。

根据本公开实施例的第三方面，提供一种工艺腔的加热控制装置，应用于上述的工艺腔，包括：

获取模块，用于获取加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度；

控制模块，用于根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围；其中，所述N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数。

在一个实施例中，所述装置还包括：

第二获取模块，用于获取至少一个阶段温度设定值，所述阶段温度设定值小于所述目标温度范围；

所述控制模块包括：

控制子模块，用于根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，直至符合对应的目标温度范围；其中，在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围。

在一个实施例中，所述装置还包括：

确定模块，用于在所述N个感应温度从当前温度达到下一个阶段温度设定值的过程中，确定任意两个感应温度之间的温差；

第一更新模块，用于在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个感应温度的平均值。

在一个实施例中，所述装置还包括：

第二更新模块，用于在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个加热区域的感应温度的平均值加上预设温度值。

在一个实施例中，所述装置还包括：

第三获取模块，用于获取每个阶段温度设定值对应的加热时间段；

所述控制子模块，用于针对每个阶段温度设定值，在所述阶段温度设定值对应的加热时间段内，根据所述N个感应温度，控制N个加热器件的加热功率，使得所述N个加热区域的N个感应温度达到所述阶段温度设定值，直至所述阶段温度设定值对应的加热时间段结束。

根据本公开实施例的第四方面，提供一种工艺腔的加热控制装置，包括：

处理器；

用于存储处理器可执行指令的存储器；

其中，所述处理器被配置为：

获取加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度；

根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围；其中，所述N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数。

根据本公开实施例的第五方面，提供一种计算机可读存储介质，存储有计算机指令，所述计算机指令被处理器执行时实现上述方法中所述的步骤。

本公开的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：本实施例可以在工艺腔的侧壁上设置测温部测量加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度，然后控制器就可以根据所述测温部测量出的N个感应温度，控制所述N个加热器件各自的加热功率，这样就可以在加热过程中控制所述N个感应温度之间的温差在预定范围内，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围，避免温差过大导致的加热器件受热不均变形，甚至断裂，而且该测温部可以测量与待处理物品相接触的加热板上表面的加热区域的实际温度，进而使得控制器可以控制加热器件对其加热，使得该加热区域最终的感应温度符合对应的目标温度范围，保证对待处理物品的真实加热均匀性。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。

图1是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的剖面示意图。

图2是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的俯视图。

图3是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的剖面示意图。

图4是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的剖面示意图。

图5是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的剖面示意图。

图6是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制方法的流程图。

图7是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制方法的流程图。

图8是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制方法的流程图。

图9是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制方法的流程图。

图10是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制方法的流程图。

图11是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制装置的框图。

图12是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制装置的框图。

图13是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制装置的框图。

图14是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制装置的框图。

图15是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制装置的框图。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本公开相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本公开的一些方面相一致的装置和方法的例子。

图1是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的剖面示意图，如图1所示，该工艺腔1包括加热部10，测温部11和控制器12。

参考图1，该加热部10位于所述工艺腔1底部，包括：加热板101和N 个加热器件102，该加热器件102位于加热板101的下方，所述N个加热器件102分别对所述加热板101上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数。示例的，图2是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的俯视图，该工艺腔的加热板101上具有N＝3个加热区域：加热中心区1011、加热外区1012和加热边框区1013，该工艺腔1的底部可以设置三个加热器件分别对这三个加热区域进行加热。该加热器件可以是加热丝等器件，各加热器件通过热辐射对上方加热板上表面的N个加热区域进行加热。

这里，该测温部11可以位于所述工艺腔1的侧壁上，用于测量所述加热板101上表面分布的N个加热区域的N个感应温度；如此，在测温部11出现故障时，维修人员可以直接在侧壁位置处对该测温部11进行维修。

控制器12连接所述测温部11和所述加热部10，该控制器12可以根据所述测温部11测量的N个加热区域的N个感应温度，控制所述N个加热器件各自的加热功率，分别对N个加热区域进行加热，在加热过程中需要保证所述N个感应温度之间的温差在预定范围内，如此实现对加热过程的闭环控制，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围。该目标温度范围可以保证为之后加热板上的待处理物品的工艺加工提供期望的温度条件。该闭环控制可以是PID(Proportion、Integration、Differentiation，比例、积分、微分) 闭环控制，该控制器可以是PID控制器。

这里，控制器在控制N个加热器件各自的加热功率，使得N个加热器件分别对N个加热区域加热时，保证所述N个加热区域的感应温度之间的温差在预定范围内，示例的，控制器12可以在测温部检测到某个加热区域的感应温度过大，与其他加热区域的感应温度之间的温差较大时，会控制该加热区域对应的加热器件的加热功率，降低对该加热区域的加热速度，或者，也可以控制其他加热区域对应的加热器件的加热功率，加大对其他加热区域的加热速度等等，只要保证任意两个加热区域的感应温度之间的温差在一定的预设范围内如10度之内即可。

本实施例可以在工艺腔的侧壁上设置测温部测量加热板上表面分布的N 个加热区域的N个感应温度，然后控制器就可以根据所述测温部测量出的N 个感应温度，控制所述N个加热器件各自的加热功率，这样就可以在加热过程中控制所述N个感应温度之间的温差在预定范围内，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围，避免温差过大导致的加热器件受热不均变形，甚至断裂，保护加热器件的使用寿命；而且该测温部可以测量与待处理物品相接触的加热板上表面的加热区域的实际温度，进而使得控制器可以控制加热器件对其加热，使得该加热区域最终的感应温度符合对应的目标温度范围，保证对待处理物品的真实加热均匀性。

在一种可能的实施例中，图3是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的剖面示意图，如图3所示，所述测温部11包括透光玻璃110和N个测温传感器111。

如图3所示，该透光玻璃110位于所述工艺腔1的侧壁13上，N个测温传感器111位于所述透光玻璃110相对所述工艺腔1侧壁的一侧1101，与所述控制器12连接，通过所述透光玻璃可以分别测量所述N个加热区域的感应温度。

这里，该透光玻璃110为测温用的透光玻璃，如石英玻璃、氟化钙玻璃、硫化锌玻璃等透光玻璃，每个测温传感器111测量一个加热区域的感应温度，仍以图2所示的加热板101有三个加热区域为例进行说明，该测温部可以包括三个测温传感器111：测温传感器111A、测温传感器111B和测温传感器 111C，测温传感器111A用于测量加热中心区1011的感应温度，测温传感器 111B用于测量加热外区1012的感应温度，测温传感器111A用于测量加热边框区1013的感应温度。

这里需要说明的是，该N个测温传感器可以共用一块透光玻璃，当然，工艺腔的侧壁上可能设置有各种构件，没有那么大面积设置一大块透光玻璃，也可以每个测温传感器对应设置有一块透光玻璃，此时透光玻璃面积就会比较小，在侧壁上合适的地方设置，只要保证测温传感器可以通过透光玻璃测量相应加热区域的感应温度即可，故该透光玻璃是N个测温传感器共用一块还是各自使用一块可以根据实际情况来设置，在此并不做限制。当然，在为每个测温传感器对应设置一块透光玻璃时，这N块透光玻璃可以设置在工艺腔的同一个侧壁上，也可以设置在不同的侧壁上，可以根据实际情况来设置，在此不做限制。

本实施例可以将透光玻璃设置在工艺腔的侧壁上，将N个测温传感器设置在透光玻璃相对工艺腔侧壁的一侧，该N个测温传感器可以通过透光玻璃分别测量N个加热区域的N个感应温度，实现简单。

在一种可能的实施方式中，图4是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的剖面示意图，如图4所示，所述测温部11还包括遮挡板112和旋转杆 113。

参考图4，该遮挡板112靠近所述透光玻璃110相对于所述工艺腔侧壁的另一侧1102；该旋转杆113连接所述遮挡板112，在所述工艺腔进行工艺如镀膜工艺期间旋转，使得所述遮挡板112遮挡住所述透光玻璃，避免在镀膜工艺时，将透光玻璃的一侧1101表面被镀膜，影响测温传感器的测温。在所述工艺腔进行加热期间旋转使所述遮挡板112不遮挡所述透光玻璃110，使得测温传感器111可以通过透光玻璃110测量对应加热区域的感应温度。

本实施例可以在所述透光玻璃靠近所述工艺腔侧壁的另一侧设置遮挡板，并设置一旋转杆连接所述遮挡板，这样就可以在工艺腔进行工艺期间旋转该旋转杆，使得所述遮挡板遮挡住所述透光玻璃，在所述工艺腔进行加热期间旋转该旋转杆使所述遮挡板不遮挡所述透光玻璃，防止在工艺期间，该透光玻璃靠近所述工艺腔侧壁的另一侧被工艺影响，进而影响测温传感器的测温。

在一种可能的实施方式中，图5是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的剖面示意图，如图5所示，所述测温部11还包括N个测温器件114，该测温器件114位于所述加热板101下方，分别设置在对应加热器件102的预设距离处，连接所述控制器12，将检测到的温度反馈给所述控制器。示例的，该测温器件114可以是热偶等各种测温用的器件。

这里，测温器件114可以测试对应加热器件102的预设距离处的温度，控制器12可以根据该测温器件测得的温度来验证测温传感器111检测的数据的有效性以及检测加热器件是否故障等。示例的，若某个测温传感器111检测到加热区域A的感应温度为T1，而测温器件114检测到为加热区域A加热的加热器件的预设距离处的温度为T2，正常情况下T1与T2之间的温差很小，在一定范围内，故，若T1和T2之间的温差较大，则表明有故障，可根据具体情况进行分析，如在加热过程中两者温差较大时，测温器件检测到温度正常上升，而测温传感器检测到的感应温度较低，则表明该测温传感器检测到的数据可能是无效的，此时就要查看该测温传感器是否故障，若有故障则进行更换；当然，该测温器件检测的加热器件的预设距离处的温度，控制器可以根据其检测的温度来确定加热器件是否出现故障，如控制器在控制加大加热器件的加热功率时，测温器件检测的温度不升反降，则表明该加热器件出现故障，不能加热等。

本实施例可以在加热板下方设置N个测温器件，该N个测温器件分别设置在对应加热器件的预设距离处，连接控制器，将检测到的温度反馈给所述控制器，如此，控制器可以参考该N个测温器件反馈的温度，验证测温传感器测量数据的有效性；也可以加热丝工作状态进行检测，避免加热丝故障。

在一种可能的实施方式中，所述测温传感器111包括红外测温传感器和/ 或激光测温传感器。

这里，红外测温传感器可以利用红外辐射的热效应，通过温差电效应、热释电效应和热敏电阻等来测量所吸收的红外辐射，间接地测量辐射红外光物体表面的温度；具有温度分辨率高、响应速度快、不扰动被测物品温度分布场、测量精度高和稳定性好等优点。激光温度传感器可以利用激光束在被测物品如加热板前后表面反射光的干涉现象来测定温度，测试更准确。

这里，测温传感器111是红外侧温传感器或激光侧温传感器等非接触测温传感器，如图3所示，测温传感器111在透过该透光玻璃110检测加热板 101上表面的感应温度时，需要倾斜一定的角度，可以透过该透光玻璃110 向加热板所需测温区域发射激光或者可以透过该透光玻璃110接收加热板所需测温区域发射红外辐射。

图6是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制方法的流程图，该控制方法应用于上述的工艺腔，如图6所示，该控制方法包括以下步骤601 至步骤602。

在步骤601中，获取加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度。

在步骤602中，根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围。

其中，所述N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数。

这里，控制器可以控制N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N 个加热区域加热，同时控制器可以通过测温部实时获取加热板上表面分布的 N个加热区域的N个感应温度，这样，控制器就可以根据N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，实现对加热过程的闭环控制，直至N个感应温度符合对应的目标温度范围。该目标温度范围可以保证为之后加热板上的待处理物品的工艺加工提供期望的温度条件。

这里，控制器在控制N个加热器件分别对N个加热区域加热时，需要实时获取N个加热区域的N个感应温度，不断调整N个加热器的加热功率，使得所述N个加热区域的感应温度之间的温差在预定范围内，示例的，控制器10在测温部检测到某个加热区域的感应温度过大，与其他加热区域的感应温度之间的温差较大时，会控制该加热区域对应的加热器件的加热功率，降低对该加热区域的加热速度，或者，也可以控制其他加热区域对应的加热器件的加热功率，加大对其他加热区域的加热速度等等，只要保证任意两个加热区域的感应温度之间的温差在一定的预设范围内如10度之内即可。

本实施例可以根据加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度N 个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N 个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围，可以避免温差过大导致的加热器件受热不均变形，甚至断裂，而且可以获取与待处理物品相接触的加热板上表面的加热区域的实际温度，进而可以在控制加热器件对其加热时，使得该加热区域最终的感应温度符合对应的目标温度范围，保证对待处理物品的真实加热均匀性。

在一种可能的实施方式中，图7是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制方法的流程图，如图7所示，上述控制方法还可以包括步骤603，上述的步骤602可以实施为以下步骤6021。

在步骤603中，获取至少一个阶段温度设定值，所述阶段温度设定值小于所述目标温度范围。

在步骤6021中，根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，直至符合对应的目标温度范围；其中，在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围。

这里，在控制加热器件对加热板进行加热的过程中，控制器可以进行阶段性加热，控制器可以自动将加热过程分为多个加热阶段，获取至少一个阶段温度设定值，通过测温部实时反馈的加热板上表面的N个感应温度，控制 N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，直至符合对应的目标温度范围；当然，在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围。

示例的，假设目标温度范围为[300-0.5，300+0.5]，控制器可以获取三个阶段温度设定值100度、180度、250度，控制器可以控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度先达到100度；再控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度从100度达到180度，然后再控制 N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度从180度达到250度，然后再控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度从250 度达到300度，实现逐步升温；这样就可以防止直接升温至目标温度范围，容易出现加热过快，导致控制器来不及调控导致最终温度会超过目标温度范围，即出现超调不可控。

这里需要说明的是，由于每个加热器件是独立加热的，故每个加热器件加热的加热区域的温度是不同的，在每个加热阶段，当有一个加热区域的感应温度到达该阶段的阶段温度设定值时，控制器可以控制该加热区域对应的加热器件的加热功率使该加热区域不再继续升温，持续保温，等待其他加热区域也到达该阶段温度设定值。

本实施例可以根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，直至符合对应的目标温度范围；如此进行阶段性升温，可以保证尽可能好的接近设定温度而不会温度超调。

在一种可能的实施方式中，图8是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制方法的流程图，如图8所示，上述控制方法还可以包括604和 605。

在步骤604中，在所述N个感应温度从当前温度达到下一个阶段温度设定值的过程中，确定任意两个感应温度之间的温差。

在步骤605中，在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个加热区域的温度的平均值。

这里，在每个阶段的阶段升温过程中，即从当前温度达到下一个阶段温度设定值的过程中，控制器可以确定任意两个感应温度之间的温差，在最大的温差大于预设阈值，即温差过大时，为了保证N个感应温度之间的温差在预定范围，控制器可以更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个加热区域的温度的平均值。

示例的，仍以图2所示的加热板有三个加热区域为例进行说明，控制器在从当前温度达到下一个阶段温度设定值180度的过程中，可以实时获取三个感应温度：加热中心区的感应温度为150度，加热外区的感应温度为130 度，加热边框区的感应温度为100度，确定这3个感应温度中任意两个感应温度之间的温差为50度、30度和20度；最大的温度差为50度大于预设阈值如40度时，就需要对下一个阶段温度设定值进行微调，可以将下一个阶段温度设定值从180度调整为三个感应温度的平均值即(150+130+100)/3＝126；然后，控制器就可以根据该下一个阶段温度设定值为126度进行控温，由于加热中心区的感应温度已经达到了该下一个阶段温度设定值即126度，控制器就可以控制该加热中心区对应的加热器件的加热功率，保持加热中心区的温度，增加加热边框区对应的加热器件的加热功率，提高对加热边框区的加热速度。

这里需要说明的是，当个加热区域都达到阶段温度设定值即126度后，控制器可以获取下一个阶段温度设定值，开启下一阶段的加热过程。

本实施例可以在任意两个感应温度之间的温差的最大值大于预设阈值时，将下一个阶段温度设定值调整为N个感应温度的平均值，可以防止某一加热区域加热过快。

在一种可能的实施方式中，图9是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制方法的流程图，如图9所示，上述控制方法还可以包括以下步骤606。

在步骤606中，在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个加热区域的感应温度的平均值加上预设温度值。

这里，仍以上述示例，假设预设温度值为10度，当最大的温度差为50 度大于预设阈值如40度时，就需要对下一个阶段温度设定值进行微调，可以将下一个阶段温度设定值从180度调整为三个感应温度的平均值即 (150+130+100)/3+10＝136；然后，控制器就可以根据该下一个阶段温度设定值为136度进行控温，由于加热中心区的感应温度已经达到了该下一个阶段温度设定值即136度，控制器就可以控制该加热中心区对应的加热器件的加热功率，保持加热中心区的温度，同时也会增加加热边框区对应的加热器件的加热功率，提高对加热边框区的加热速度。由于加热边框区的感应温度为100度，与温度设定值为136度之间相差36度，此时控制器会更比温度设定值为126度时，更大幅度地增加加热边框区对应的加热器件的加热功率，使得该加热边框区的加热速度更快，避免加热中心区的等待保温时间过长。

本实施例可以在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个加热区域的感应温度的平均值加上预设温度值，可以避免感应温度已到达该更新的下一个阶段温度设定值的加热区域的等待保温时间过长。

在一种可能的实施方式中，图10是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制方法的流程图，如图10所示，上述控制方法还可以包括以下步骤607，所述步骤6021还可以实现为以下步骤60211。

在步骤607中，获取每个阶段温度设定值对应的加热时间段。

在步骤60211中，针对每个阶段温度设定值，在所述阶段温度设定值对应的加热时间段内，根据所述N个感应温度，控制N个加热器件的加热功率，使得所述N个加热区域的N个感应温度达到所述阶段温度设定值，直至所述阶段温度设定值对应的加热时间段结束。

这里，每个阶段温度设定值对应的加热时间段可以由用户根据经验自己设置，控制器可以获取每个阶段温度设定值对应的加热时间段，该加热时间段可以保证加热区域在该加热时间段内能够加热到阶段温度设定值。这样，控制器可以控制N个加热器件的加热功率，使得所述N个加热区域的感应温度达到所述阶段温度设定值的过程在该加热时间段内完成，即使在该加热时间段内N各感应温度有未达到该阶段温度设定值的，也在该加热时间段结束时，结束该阶段的加热，获取下一各阶段温度设定值和对应的加热时间段，启动下一阶段的加热。

示例的，在每个阶段升温过程中，如在加热到下一个阶段温度设定值为 100度对应的加热时间段为30分钟，则控制器在控制N个加热器件的加热功率，使得所述N个加热区域的温度达到所述阶段温度设定值的过程中，如果有一个加热区域的感应温度先达到了100度时，还不到30分钟，此时控制器会控制该加热区域对应的加热器件的加热功率，使得该加热区域的感应温度保持在该100度，等待其他加热区域的感应温度达到100度；当所有加热区域的感应温度均达到100度时，如果还不到30分钟，此时，控制器就会控制各加热器件的加热功率，使得各加热区域的感应温度保持在该阶段温度设定值，直至该30分钟结束。

当然，若有一个加热区域的感应温度先达到了100度时，还不到30分钟，此时控制器会控制该加热区域对应的加热器件的加热功率，使得该加热区域的感应温度保持在该100度，等待其他加热区域的感应温度达到100度，但是在30分钟结束后，可能仍然有加热区域的感应温度未达到100度，此时，控制器不会继续等待而是结束本阶段的加热过程，获取下一各阶段温度设定值180度和对应的加热时间段，启动下一阶段的加热，这样可以防止本阶段加热过程中，先达到该阶段温度设定值100度的加热区域等待时间过长。

本实施例可以为每个阶段温度设定值设置对应的加热时间段，该加热时间段内控制N个加热器件的加热功率，使得所述N个加热区域的N个感应温度达到所述阶段温度设定值，在该加热时间段结束后就开启下一阶段的加热，防止先达到本阶段温度设定值的加热区域等待时间过长。

下述为本公开装置实施例，可以用于执行本公开方法实施例。

图11是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制装置的框图，该装置可以通过软件、硬件或者两者的结合实现成为电子设备的部分或者全部。如图11所示，该工艺腔的加热控制装置包括：

第一获取模块701，用于获取加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度；

控制模块702，用于根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围；其中，所述N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数。

作为一种可能的实施例，图12是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制装置的框图，如图12所示，上述公开的工艺腔的加热控制装置还可以被配置成包括第二获取模块703，把所述控制模块702配置成包括控制子模块7021，其中：

第二获取模块703，用于获取至少一个阶段温度设定值，所述阶段温度设定值小于所述目标温度范围；

控制子模块7021，用于根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，直至符合对应的目标温度范围；其中，在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围。

作为一种可能的实施例，图13是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制装置的框图，如图13所示，上述公开的工艺腔的加热控制装置还可以被配置成包括确定模块704和第一更新模块705，其中：

确定模块704，用于在所述N个感应温度从当前温度达到下一个阶段温度设定值的过程中，确定任意两个感应温度之间的温差；

第一更新模块705，用于在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个感应温度的平均值。

作为一种可能的实施例，图14是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制装置的框图，如图14所示，上述公开的工艺腔的加热控制装置还可以被配置成包括第二更新模块706，其中：

第二更新模块706，用于在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个加热区域的感应温度的平均值加上预设温度值。

作为一种可能的实施例，图15是根据一示例性实施例示出的一种工艺腔的加热控制装置的框图，如图15所示，上述公开的工艺腔的加热控制装置还可以被配置成包括第三获取模块707，其中：

第三获取模块707，用于获取每个阶段温度设定值对应的加热时间段；

所述控制子模块7021，用于针对每个阶段温度设定值，在所述阶段温度设定值对应的加热时间段内，根据所述N个感应温度，控制N个加热器件的加热功率，使得所述N个加热区域的N个感应温度达到所述阶段温度设定值，直至所述阶段温度设定值对应的加热时间段结束。

关于上述实施例中的装置，其中各个模块执行操作的具体方式已经在有关该方法的实施例中进行了详细描述，此处将不做详细阐述说明。

本实施例还提供了一种工艺腔的加热控制装置，应用于上述的工艺腔，包括：

处理器；

用于存储处理器可执行指令的存储器；

其中，所述处理器被配置为：

获取加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度；

根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围；其中，所述N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数。

所述处理器还可以被配置为：

所述方法还包括：

获取至少一个阶段温度设定值，所述阶段温度设定值小于所述目标温度范围；

所述根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围，包括：

根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述 N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，直至符合对应的目标温度范围；其中，在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围。

所述处理器还可以被配置为：

所述方法还包括：

在所述N个感应温度从当前温度达到下一个阶段温度设定值的过程中，确定任意两个感应温度之间的温差；

在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个感应温度的平均值。

所述处理器还可以被配置为：

所述方法还包括：

在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述 N个加热区域的感应温度的平均值加上预设温度值。

所述处理器还可以被配置为：

所述方法还包括：

获取每个阶段温度设定值对应的加热时间段；

所述根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，包括：

针对每个阶段温度设定值，在所述阶段温度设定值对应的加热时间段内，根据所述N个感应温度，控制N个加热器件的加热功率，使得所述N个加热区域的N个感应温度达到所述阶段温度设定值，直至所述阶段温度设定值对应的加热时间段结束。

本实施例提供了一种计算机可读存储介质，当所述存储介质中的指令由处理器执行时实现以下步骤：

获取加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度；

根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围；其中，所述N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数。

所述存储介质中的指令被处理器执行时还可以实现以下步骤：

获取至少一个阶段温度设定值，所述阶段温度设定值小于所述目标温度范围；

所述根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围，直至所述N个感应温度符合对应的目标温度范围，包括：

根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述 N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，直至符合对应的目标温度范围；其中，在加热过程中所述N个感应温度之间的温差在预定范围。

所述存储介质中的指令被处理器执行时还可以实现以下步骤：

在所述N个感应温度从当前温度达到下一个阶段温度设定值的过程中，确定任意两个感应温度之间的温差；

在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述N个感应温度的平均值。

所述存储介质中的指令被处理器执行时还可以实现以下步骤：

所述方法还包括：

在最大的温差大于预设阈值时，更新所述下一个阶段温度设定值为所述 N个加热区域的感应温度的平均值加上预设温度值。

所述存储介质中的指令被处理器执行时还可以实现以下步骤：

所述方法还包括：

获取每个阶段温度设定值对应的加热时间段；

所述根据所述N个感应温度，控制N个加热器件各自的加热功率，使得所述N个感应温度逐步达到每个阶段温度设定值，包括：

针对每个阶段温度设定值，在所述阶段温度设定值对应的加热时间段内，根据所述N个感应温度，控制N个加热器件的加热功率，使得所述N个加热区域的N个感应温度达到所述阶段温度设定值，直至所述阶段温度设定值对应的加热时间段结束。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的公开后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限制。