铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池电沉积装置的制作方法

文档序号:16835790发布日期:2019-02-12 21:04阅读:来源:国知局

技术特征:

1.铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池电沉积装置,其特征在于,包括控制器、移动装置、机体、电镀槽、喷水清洗槽、浸泡清洗槽、高压N2吹干槽、高压气瓶;其中,所述控制器,用来控制移动装置和高压气瓶的工作;所述移动装置,包括滑动台、升降架、产品架;所述机体,用于放置电镀槽、喷水槽、浸泡清洗槽、高压N2吹干槽,而且布置有移动装置滑动台移动的滑轨;所述电镀槽,布置在喷水清洗槽前面,里面盛有电镀液,其上布置Cu电极、In电极和Ga电极;所述喷水清洗槽前面,盛有水溶液,布置在浸泡清洗槽前面,用以清洗镀层产品件;所述浸泡清洗槽,盛有水溶液,布置在第二道电镀槽前面;所述高压N2吹干槽,布置在第三道浸泡清洗槽,用以吹干沉积基片,防止其氧化,并为硒化做准备;所述高压气瓶,内部装有N2,罐壁装有气管,气管上布置哟若干有喷气头。

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