半导体装置的制作方法

文档序号:17969230发布日期:2019-06-21 23:09阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体装置,其特征在于具备:

第1芯片,具有基板、设置在所述基板的上方的第1插塞、及设置在所述第1插塞上的第1焊垫;及

第2芯片,具有第2插塞、及设置在所述第2插塞下的第2焊垫;

所述第2芯片具备:

电极层,和所述第2插塞电连接;

电荷蓄积层,在所述电极层的侧面介隔第1绝缘膜而设置;以及

半导体层,在所述电荷蓄积层的侧面介隔第2绝缘膜而设置;且

所述第1焊垫与所述第2焊垫接合;

所述第1及第2插塞是以在和所述基板的表面垂直的第1方向上,所述第1插塞和所述第2插塞至少一部分不相互重叠的方式配置。

2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于所述第1插塞的厚度为所述第1焊垫的厚度的2倍以上,所述第2插塞的厚度为所述第2焊垫的厚度的2倍以上。

3.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于还具备:

第1配线,在设置在所述第1插塞下的第1配线层内延伸,且和所述第1插塞电连接;及

第2配线,在设置在所述第2插塞上的第2配线层内延伸,且和所述第2插塞电连接。

4.根据权利要求3所述的半导体装置,其特征在于还具备第3插塞,该第3插塞设置在所述第2焊垫上,且以和在所述第2配线层内延伸的各配线非接触的方式配置。

5.根据权利要求4所述的半导体装置,其特征在于所述第1及第3插塞是以在所述第1方向上,所述第1插塞和所述第3插塞至少一部分不相互重叠的方式配置。

6.根据权利要求3所述的半导体装置,其特征在于还具备第4插塞,该第4插塞设置在所述第1焊垫下,且以和在所述第1配线层内延伸的各配线非接触的方式配置。

7.根据权利要求6所述的半导体装置,其特征在于所述第2及第4插塞是以在所述第1方向上,所述第2插塞和所述第4插塞至少一部分不相互重叠的方式配置。

8.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于所述第1及第2焊垫含有铜或镍。

9.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于所述第1焊垫和所述第2焊垫是经由从所述第1焊垫的上表面突出的第1突出部及/或从所述第2焊垫的下表面突出的第2突出部而相互电连接。

10.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于所述第1插塞和设置在所述第1插塞的下方的晶体管电连接。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1