应用在光照解胶机上的氮气控制装置的制作方法

本实用新型涉及光照解胶机，具体的说是应用在光照解胶机上的氮气控制装置。

背景技术：

在半导体芯片生产工艺中，芯片划片之间，要将晶圆片用划片胶膜固定在框架上，在划片工艺完成后，用光照解胶机对固定胶膜进行照射，以降低划片固定模的粘性，以便后续封装。光照解胶机内安装有氮气管，通过氮气管对排出氮气，氮气能够防止胶膜与氧气发生反应，目前的氮气管均是固定在光照解胶机内，通过氮气管排出氮气，由于氮气管的位置固定，氮气管排放出的氮气无法均匀的填充到光照解胶机内，工作效率低。

技术实现要素：

针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供的应用在光照解胶机上的氮气控制装置，解决了现有光照解胶机内的氮气管排放氮气，均匀填充效率低的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

应用在光照解胶机上的氮气控制装置包括：氮气管、排气孔、氮气填充装置，旋转轴、固定块、氮气控制装置，所述氮气管上设有等距离分布的排气孔，所述氮气管一端开口通过固定块固定在氮气填充装置上，所述氮气填充装置的中心处设有旋转轴，所述氮气填充装置通过氮气控制装置连接氮气出口。

其中，所述氮气管的一端开口，另一端密封，所述氮气管上的排气孔等距离排布，并且由开口端至密封端排气孔的直径依次增大。

其中，所述氮气填充装置为五边形，氮气填充装置内部中空，氮气填充装置顶部设有氮气进口，所述氮气进口通过氮气控制装置与氮气出口相连。

其中，所述旋转轴与旋转电机相连，所述旋转轴一端设置在光照解胶机顶部内壁的框架上，所述旋转电机设置在光照解胶机内。

其中，所述固定块与氮气管螺纹相连，所述氮气管与固定块连接处设有密封圈。

其中，所述氮气控制装置通过PLC控制，所述氮气控制装置设有显示屏。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的应用在光照解胶机上的氮气控制装置，光照解胶机内的氮气管能够绕轴旋转，使得光照解胶机内的氮气分布均匀，工作效率提高30%。

为了能更进一步了解本实用新型的特征以及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。

附图说明

下面结合附图，通过对本实用新型的具体实施方式详细描述，将使本实用新型的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1是本实用新型应用在光照解胶机上的氮气控制装置的结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型所采取的技术手段及其效果，以下结合本实用新型的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图1，应用在光照解胶机上的氮气控制装置包括：氮气管1、排气孔2、氮气填充装置3，旋转轴4、固定块5、氮气控制装置（图中未标注），所述氮气管1上设有等距离分布的排气孔2，所述氮气管1一端开口通过固定块5固定在氮气填充装置3上，所述氮气填充装置3的中心处设有旋转轴4，所述氮气填充装置3通过氮气控制装置连接氮气出口。

进一步，所述氮气管1的一端开口，另一端密封，所述氮气管1上的排气孔2等距离排布，并且由开口端至密封端排气孔2的直径依次增大。

进一步，所述氮气填充装置3为五边形，氮气填充装置3内部中空，氮气填充装置3顶部设有氮气进口，所述氮气进口通过氮气控制装置与氮气出口相连。

进一步，所述旋转轴4与旋转电机相连，所述旋转轴4一端设置在光照解胶机顶部内壁的框架上，所述旋转电机设置在光照解胶机内。

进一步，所述固定块5与氮气管1螺纹相连，所述氮气管1与固定块5连接处设有密封圈。

进一步，所述氮气控制装置通过PLC控制，所述氮气控制装置设有显示屏。

氮气通过氮气出口排入到与氮气进口相连的氮气填充装置3内，氮气的排放量通过氮气控制装置控制，氮气填充装置3内的氮气通过氮气管1上的排气孔2排出，旋转轴4旋转带动氮气填充装置3旋转，氮气管1旋转使由氮气管1排出的氮气均匀分布在光照解胶机内。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。