集成电路芯片的制作方法

文档序号:18090468发布日期:2019-07-06 10:44阅读:来源:国知局
技术总结
本公开是关于一种集成电路芯片,包括衬底、多层导电层、熔断器、介电层和闩锁电路;其中,相邻的导电层之间设置有介电层,所述衬底和与其相邻的导电层之间设置有介电层,所述介电层上设置有接触孔;熔断器位于第一介电层上的接触孔中,所述第一介电层为多层所述介电层中的任一层介电层;闩锁电路设置在所述衬底上,和所述熔断器连接。在集成电路芯片测试时,触发闩锁效应,使得闩锁电路中的电流不断增大,直至烧断熔断器,实现了对熔断器测试时的熔断。并且在测试多个熔断器时,只需顺序触发每个熔断器的闩锁电路即可,提升了测试效率,节约了测试时间。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:长鑫存储技术有限公司
技术研发日:2018.09.07
技术公布日:2019.07.05

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