集成电路芯片的制作方法

文档序号:18090477发布日期:2019-07-06 10:44阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种集成电路芯片,其特征在于,包括:

衬底;

多层导电层,其中,相邻的所述导电层之间设置有介电层,所述衬底和与其相邻的导电层之间设置有介电层,所述介电层上设置有接触孔;

熔断器,位于第一导电层上,所述第一导电层为多层所述导电层中位于最上层的导电层,其中,靠近所述衬底为底层,远离所述衬底为上层;

闩锁电路,设置在衬底中,和所述熔断器连接。

2.如权利要求1所述的集成电路芯片,其特征在于,所述第一导电层上设置有第一通孔,所述熔断器位于所述通孔中。

3.如权利要求2所述的集成电路芯片,其特征在于,所述集成电路芯片还包括:

连接器,位于所述介电层的接触孔中,用于连接所述介电层两侧的导电层。

4.如权利要求1所述的集成电路芯片,其特征在于,第一导电层用于连接电源,用于接收电源信号。

5.如权利要求1所述的集成电路芯片,其特征在于,第二导电层连接有断路检测装置,所述断路检测装置用于检测熔断器是否被熔断,所述第二导电层为位于所述第一导电层和所述衬底之间的导电层。

6.如权利要求1所述的集成电路芯片,其特征在于,所述熔断器为金属熔断器。

7.如权利要求1所述的集成电路芯片,其特征在于,多层所述导电层和所述衬底相互平行设置。

8.如权利要求3所述的集成电路芯片,其特征在于,所述熔断器为熔丝,所述熔丝的电阻大于所述第一导电层的电阻以及所述连接器的电阻。

9.如权利要求8所述的集成电路芯片,其特征在于,所述熔丝的宽度小于所述第一导电层的宽度。

10.如权利要求8所述的集成电路芯片,其特征在于,所述熔丝的厚度小于所述第一导电层的厚度。

11.如权利要求1~10任一项所述的集成电路芯片,其特征在于,所述集成电路芯片还包括:

钝化层,位于所述第一导电层远离衬底的一侧。

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