一种晶圆检测用辅助装置的制作方法

文档序号:17948223发布日期:2019-06-18 23:49阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及电子芯片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆检测用辅助装置,其能够避免在检测中产生误差;同时不会对探针或者晶圆造成损害;并且能够提高生产效率;包括检测探头本体,检测探头底部设置有多组检测探针;还包括底座、固定座、两组固定支架、升降箱、旋转把手、蜗杆、蜗轮、螺纹升降杆、滑动套筒、两组升降滑块、两组缓冲弹簧和两组固定杆,固定座安装在底座顶部中心,两组固定支架的低端分别固定在底座顶部的左侧和右侧,升降箱内部设置有升降腔,升降箱左侧和右侧分别连通设置有两组第一通孔,升降箱顶部和底部分别设有两组第二通孔,蜗轮固定在升降腔内,蜗杆的两端分别穿过两组第一通孔。

技术研发人员:王昌华
受保护的技术使用者:盐城盈信通科技有限公司
技术研发日:2018.10.23
技术公布日:2019.06.18

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