1.一种吸气剂薄膜的加工衬底,其特征在于,包括:
衬底基板;所述衬底基板设有多组镂空槽,每组镂空槽围成的区域内设有多个吸气剂端子;
覆盖在所述衬底基板上的硬掩膜版;所述硬掩膜版设有多个开孔,使上述每组镂空槽围成的区域不被硬掩膜版覆盖。
2.根据权利要求1所述的加工衬底,其特征在于,所述衬底基板为不锈钢板、玻璃片或陶瓷片。
3.根据权利要求1所述的加工衬底,其特征在于,所述衬底基板的厚度为0.02mm~1mm。
4.根据权利要求1所述的加工衬底,其特征在于,所述衬底基板的表面设有多个不穿透衬底基板的细孔。
5.根据权利要求1所述的加工衬底,其特征在于,所述吸气剂端子的尺寸为0.5mm~5mm,形状为圆形、矩形或环形。
6.根据权利要求1所述的加工衬底,其特征在于,所述硬掩膜为不锈钢板。
7.根据权利要求1所述的加工衬底,其特征在于,所述硬掩膜版的厚度为0.02mm~0.5mm。
8.根据权利要求1~7任一项所述的加工衬底,其特征在于,还包括:
放置所述衬底基板的托盘;
设置在所述硬掩膜版上的纽扣磁铁,用于固定依次叠放的托盘、衬底基板和硬掩膜版。
9.根据权利要求8所述的加工衬底,其特征在于,所述纽扣磁铁的个数为2个~8个。