1.一种夹心翅片,用于半导体扩散制程中的保温隔热层,其特征在于,该夹心翅片包括:第一透明石英层、不透明石英层、第二透明石英层,
不透明石英层被夹在第一透明石英层和第二透明石英层之间,并且,不透明石英层的上表面与第一透明石英层熔接,不透明石英层的下表面与第二透明石英层熔接。
2.根据权利要求1所述的夹心翅片,其特征在于,不透明石英层的面积尺寸小于第一透明石英层或/和第二透明石英层,使得夹心翅片形如夹心饼干。
3.一种夹心翅片的烧制设备,用于烧制如权利要求1所述的夹心翅片,其特征在于,该烧制设备包括:
火焰枪,该火焰枪被安装在一个火焰枪支撑架上;
转台,夹心翅片被安置在转台上,火焰枪的设置高度使得火焰枪能够熔烧夹心翅片;
转盘,设置在转台下部,与转盘同步转动;
真空泵,放置在转盘上,通过冷水冷凝器与夹心翅片连通。