一种圆盘清洗承载花篮压杆装置的制作方法

本实用新型属于半导体湿式制程设备，具体为一种圆盘清洗承载花篮压杆装置。

背景技术：

晶圆在存储、装载和卸载的过程中，以及在每一处理步骤后，通常都会在晶圆上留下污染物，如颗粒物，金属离子，有机物等，所以需要对晶圆进行清洗。清洗过程中要先把硅片放在承载花篮里，再将硅片和承载花篮整体放入槽内清洗液中，待清洗完成后将花篮取出，但是在承载花篮放入槽内清洗时，晶圆会上浮从而导致破片。

技术实现要素：

为了解决上述的技术问题，本实用新型提供一种圆盘清洗承载花篮压杆装置。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种圆盘清洗承载花篮压杆装置，包括承载花篮、晶圆安装机构和压杆，所述晶圆安装机构设置在承载花篮内部左右两侧，所述压杆安装在晶圆安装机构顶端，所述压杆贯穿晶圆安装机构；

所述承载花篮包括承载花篮底板、承载花篮侧边、导流管、连接柱、矫孔、挡块、支撑柱，所述承载花篮四周设置连接柱，所述连接柱顶端固定在承载花篮表面，所述连接柱底端安装在承载花篮内部，所述承载花篮四周设置矫孔，所述导流管安装在承载花篮内部中心位置，所述挡块固定在承载花篮底板上表面，所述挡块左右相对设置，所述支撑柱安装在承载花篮底端；

所述晶圆安装机构包括晶圆卡槽、隔片、第一固定板、隔板，所述晶圆卡槽、隔片、第一固定板、隔板安装在承载花篮内部，所述晶圆卡槽固定在承载花篮底板上表面，所述隔片固定在承载花篮底板上表面，所述晶圆卡槽与隔片相互接触，所述第一固定板固定在晶圆卡槽与隔片两侧，所述隔板贯穿承载花篮中心位置；

所述压杆包括压杆主体、螺纹、第二固定板、把手，所述压杆主体贯穿晶圆安装机构顶端，所述压杆主体底端与承载花篮底端平齐，所述第二固定板与承载花篮前端表面接触，所述把手固定在第二固定板中心位置。

进一步地，所述导流管贯穿承载花篮，所述导流管前后两端与承载花篮前后两端平齐。

进一步地，所述晶圆卡槽、隔片、第一固定板关于隔板左右相对设置。

进一步地，所述螺纹与晶圆卡槽对齐，压杆里层材质为碳棒。

进一步地，所述支撑柱与承载花篮底板接触，所述隔板两端与承载花篮两端平齐。

本实用新型的有益效果：

(1)本实用新型在晶圆安装机构顶端设置了压杆装置，且在晶圆卡槽与隔片两端安装了第一固定板，使得承载花篮在槽内清洗时，晶圆卡槽内的晶圆被固定，不会上浮破片，有效地对晶圆进行保护。

(2)本实用新型在承载花篮底板安装了挡块，保证了晶圆在安装过程中稳定性，在承载花篮内部中心位置安装导流管，既增加了液体在局部的流动性，使得清洗更加彻底，又保障了晶圆承载花篮的机械性能。

(3)本实用新型承载花篮侧边是可拆卸装置，使得在清洗过程中方便清洗，在底部有一层缓冲垫，在清洗和安装过程中给予晶圆缓冲，避免晶圆受到破坏，减少损失，降低成本。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型一种圆盘清洗承载花篮压杆装置的俯视图；

图2是本实用新型一种圆盘清洗承载花篮压杆装置的正视图；

图3是本实用新型压杆装置结构示意图。

图中：1、承载花篮；11、承载花篮底板；12、承载花篮侧边；13、导流管；14、连接柱；15、矫孔；16、挡块；17、支撑柱；2、晶圆安装机构；21、晶圆卡槽；22、隔片；23、第一固定板；24、隔板；3、压杆；31、压杆主体；32、螺纹；33、第二固定板；34、把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3所示，本实用新型为一种圆盘清洗承载花篮压杆装置，包括承载花篮1、晶圆安装机构2和压杆3，晶圆安装机构2设置在承载花篮1内部左右两侧，压杆3安装在晶圆安装机构2顶端，压杆3贯穿晶圆安装机构2；

如图1、2所示，承载花篮1包括承载花篮底板11、承载花篮侧边12、导流管13、连接柱14、矫孔15、挡块16、支撑柱17，承载花篮1四周设置连接柱14，连接柱14顶端固定在承载花篮1表面，连接柱14底端安装在承载花篮1内部，承载花篮1四周设置矫孔15，导流管13安装在承载花篮1内部中心位置，导流管13贯穿承载花篮1，导流管13前后两端与承载花篮1前后两端平齐，挡块16固定在承载花篮底板11上表面，挡块16左右相对设置，支撑柱17安装在承载花篮1底端，支撑柱17与承载花篮底板11接触；

如图1所示，晶圆安装机构2包括晶圆卡槽21、隔片22、第一固定板23、隔板24，晶圆卡槽21、隔片22、第一固定板23、隔板24安装在承载花篮1内部，晶圆卡槽21、隔片22、第一固定板23关于隔板24左右相对设置，晶圆卡槽21固定在承载花篮底板11上表面，隔片22固定在承载花篮底板11上表面，晶圆卡槽21与隔片22相互接触，第一固定板23固定在晶圆卡槽21与隔片22 两侧，隔板24贯穿承载花篮1中心位置，隔板24两端与承载花篮1两端平齐；

如图1、3所示，压杆3包括压杆主体31、螺纹32、第二固定板33、把手 34，压杆主体31贯穿晶圆安装机构2顶端，压杆主体31底端与承载花篮1底端平齐，螺纹32与晶圆卡槽21配合，第二固定板33与承载花篮1前端表面接触，把手34固定在第二固定板33中心位置。

将压杆3从晶圆安装机构2顶端向内部进行旋转，直至第二固定板33与承载花篮1前端表面接触，将压杆3进行固定；此时压杆3的螺纹32与晶圆卡槽 21对齐，将晶圆放置在卡槽21中，用第一固定板23将晶圆进行固定，使晶圆不能左右移动，同时在压杆3的阻挡下，晶圆无法上下移动，将承载花篮1置于清洗槽内清洗时，晶圆无法移动，不会上浮导致破裂。

以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。